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繁星swpu

木虫 (正式写手)

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[交流] 射频磁控溅射Ti靶发灰、融化

在用射频镀膜过程中，4.5w/cm2功率密度（1.8kw，400mmX100mm靶），大概一个小时，开炉门后发现靶融化了，前几次做都没问题，就这次突然就融化了。

换新Ti靶，用4.5w/cm2功率密度，在玻璃上镀膜，开炉门后发现靶表面一层灰的东西，用无尘布擦不掉，用砂纸一打就露出了亮的Ti。

不知道大家有什么看法。

Ti靶背面（融化）

Ti靶正面（融化）

Ti靶表面发灰

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1楼 2016-06-20 10:26:54

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tableman

木虫之王 (文学泰斗)

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★
繁星swpu(金币+1): 谢谢参与

祝福楼主了。

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8楼2016-06-20 11:02:39

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张杨翠

铁虫 (正式写手)

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14楼2016-06-21 11:37:57

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