| 查看: 3160 | 回复: 18 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
繁星swpu木虫 (正式写手)
|
[交流]
射频磁控溅射Ti靶发灰、融化
|
|
|
在用射频镀膜过程中，4.5w/cm2功率密度（1.8kw，400mmX100mm靶），大概一个小时，开炉门后发现靶融化了，前几次做都没问题，就这次突然就融化了。 换新Ti靶，用4.5w/cm2功率密度，在玻璃上镀膜，开炉门后发现靶表面一层灰的东西，用无尘布擦不掉，用砂纸一打就露出了亮的Ti。 不知道大家有什么看法。  Ti靶背面（融化）  Ti靶正面（融化）  Ti靶表面发灰 |
回复此楼
19楼2017-12-22 14:02:53
tableman
木虫之王 (文学泰斗)
- 应助: 70 (初中生)
- 金币: 178246
- 散金: 150
- 红花: 480
- 沙发: 2
- 帖子: 135027
- 在线: 4346.2小时
- 虫号: 2148458
- 注册: 2012-11-26
8楼2016-06-20 11:02:39
14楼2016-06-21 11:37:57