| 查看: 1059 | 回复: 11 | |||
| 本帖产生 1 个 博学EPI ，点击这里进行查看 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
溅射WO3时的问题
|
|||
| 我们的溅射腔里周围有三个靶，分布成三角，放样品的托盘在中心，我用的是钨靶，最近溅射WO3，溅射一段时间后，对着靶下面的基板上有很深的蓝色，放样品的托盘的四周也有很深的蓝色，但是托盘中心（样品所在处）是很淡的粉色。靶被拆卸重装过几次，之前溅射时没有这种情况，我觉得是溅射粒子沉积的区域不在托盘中心，或者是通的气体流量太大。请问有人知道是什么原因吗？ |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
论文终于录用啦！满足毕业条件了
已经有21人回复
-
不自信的我
已经有5人回复
-
磺酰氟产物，毕不了业了！
已经有4人回复
-
投稿Elsevier的杂志（返修），总是在选择OA和subscription界面被踢皮球
已经有8人回复
蛋蛋爱猫咪
铁杆木虫 (著名写手)
- 应助: 20 (小学生)
- 金币: 14476.6
- 散金: 2736
- 红花: 9
- 帖子: 1957
- 在线: 904.7小时
- 虫号: 890600
- 注册: 2009-11-01
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
11楼2016-06-07 17:31:09