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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何获得1微米的金膜或者铝膜，厚度均匀，无衬底的
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donghai

金虫 (小有名气)

[求助] 如何获得1微米的金膜或者铝膜，厚度均匀，无衬底的 已有3人参与

通过溅射的方法，沉底不易去掉，腐蚀衬底的时候怕对薄膜造成损害。
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北漂叫花子

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1楼 2016-06-01 10:36:06
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

强哥哥哥

新虫 (著名写手)
我觉得可以在硅上先甩一层光刻胶，在光刻胶上镀金膜，然后用丙酮把光刻胶洗掉，当然光刻胶要涂厚一点

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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

donghai
10楼2016-06-02 15:22:09
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
donghai: 金币+5, ★★★很有帮助, 虽然不是希望这样的方案，还是谢谢您的回复。 2016-06-02 08:25:15
1um要看多大面积的。一般来说，大家都会做支撑的。
比如用硅做支撑，然后做一个1mm见方的金薄膜窗口。就是硅上长1um的金，然后背面把硅掏一个1mm见方的洞。硅用KOH腐蚀，你用氧化硅片，腐蚀到氧化层的时候停止，然后用HF漂一下，就能露出金膜了。
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7楼2016-06-01 18:44:41
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普通回帖

dezhuli

金虫 (小有名气)

博士

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你这什么意思没懂 要溅射薄膜吗
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2楼2016-06-01 10:37:44
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donghai

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by dezhuli at 2016-06-01 10:37:44
你这什么意思没懂 要溅射薄膜吗

我想要1微米左右的薄膜做实验，初步通过溅射的方法在玻璃衬底上做了一层金，用HF腐蚀衬底的时候，金膜也有所损坏，不知道有没有更好的办法？
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3楼2016-06-01 11:13:41
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
觉得1微米的薄膜很难操作吧，楼主可以考虑使用很薄的衬底，做实验的时候把衬底的影响考虑进去

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4楼2016-06-01 11:19:54
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donghai

金虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by vincentwz at 2016-06-01 11:19:54
觉得1微米的薄膜很难操作吧，楼主可以考虑使用很薄的衬底，做实验的时候把衬底的影响考虑进去

感谢回复，我现在就是带衬底做的实验，分析发现，如果没有衬底的话，效果会好很多。
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5楼2016-06-01 11:53:41
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
donghai: 金币+5, ★★★很有帮助, 谢谢回复，可以试一试。 2016-06-02 08:25:40
引用回帖:
5楼: Originally posted by donghai at 2016-06-01 11:53:41
感谢回复，我现在就是带衬底做的实验，分析发现，如果没有衬底的话，效果会好很多。...

在硅上镀呢？然后用氢氧化钾溶解硅

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6楼2016-06-01 12:22:04
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minicjing

铁虫 (正式写手)
溅射沉积镀膜

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donghai
8楼2016-06-02 14:47:33
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北漂叫花子

木虫 (著名写手)

航空发动机
送红花一朵
感觉不是太好操作呀，太薄了

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donghai
自娱自乐不交税
9楼2016-06-02 15:00:46
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