7楼: Originally posted by yswyx at 2016-06-01 18:44:41
1um要看多大面积的。一般来说，大家都会做支撑的。
比如用硅做支撑，然后做一个1mm见方的金薄膜窗口。就是硅上长1um的金，然后背面把硅掏一个1mm见方的洞。硅用KOH腐蚀，你用氧化硅片，腐蚀到氧化层的时候停止，然 ...

28楼: Originally posted by 伽鲁特 at 2016-06-03 22:39:39
看楼上有两位朋友提到用溅射到光刻胶上再用丙酮洗掉的方法。别的我不敢说，这个方法是百分之百不好用的，蒸一层金属没退火的时候都不是一层膜，胶一洗就全都散了。自己做过光刻就知道了
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