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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何获得1微米的金膜或者铝膜，厚度均匀，无衬底的
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Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
7楼: Originally posted by yswyx at 2016-06-01 18:44:41
1um要看多大面积的。一般来说，大家都会做支撑的。
比如用硅做支撑，然后做一个1mm见方的金薄膜窗口。就是硅上长1um的金，然后背面把硅掏一个1mm见方的洞。硅用KOH腐蚀，你用氧化硅片，腐蚀到氧化层的时候停止，然 ...

记得有本书上说可以用氯化钠做基片 沉积薄膜后 直接融掉基片 楼主可以按照相关思路 找下资料

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31楼2016-06-04 07:37:55
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Beyond_A

金虫 (小有名气)
引用回帖:
28楼: Originally posted by 伽鲁特 at 2016-06-03 22:39:39
看楼上有两位朋友提到用溅射到光刻胶上再用丙酮洗掉的方法。别的我不敢说，这个方法是百分之百不好用的，蒸一层金属没退火的时候都不是一层膜，胶一洗就全都散了。自己做过光刻就知道了
...

试试吧，我们是剥离金属时看到有整块1/4英寸金属脱落想到的，多个方法多条路而已

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不必自己一把就不会知道自己有多优秀
32楼2016-06-04 09:18:14
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