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donghai

金虫 (小有名气)

[求助] 如何获得1微米的金膜或者铝膜，厚度均匀，无衬底的 已有3人参与

通过溅射的方法，沉底不易去掉，腐蚀衬底的时候怕对薄膜造成损害。
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1楼 2016-06-01 10:36:06
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
donghai: 金币+5, ★★★很有帮助, 虽然不是希望这样的方案，还是谢谢您的回复。 2016-06-02 08:25:15
1um要看多大面积的。一般来说，大家都会做支撑的。
比如用硅做支撑，然后做一个1mm见方的金薄膜窗口。就是硅上长1um的金，然后背面把硅掏一个1mm见方的洞。硅用KOH腐蚀，你用氧化硅片，腐蚀到氧化层的时候停止，然后用HF漂一下，就能露出金膜了。
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7楼2016-06-01 18:44:41
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dezhuli

金虫 (小有名气)

博士

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你这什么意思没懂 要溅射薄膜吗
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2楼2016-06-01 10:37:44
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donghai

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by dezhuli at 2016-06-01 10:37:44
你这什么意思没懂 要溅射薄膜吗

我想要1微米左右的薄膜做实验，初步通过溅射的方法在玻璃衬底上做了一层金，用HF腐蚀衬底的时候，金膜也有所损坏，不知道有没有更好的办法？
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3楼2016-06-01 11:13:41
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vincentwz

铁杆木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
觉得1微米的薄膜很难操作吧，楼主可以考虑使用很薄的衬底，做实验的时候把衬底的影响考虑进去

发自小木虫Android客户端
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4楼2016-06-01 11:19:54
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