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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 磁控溅射陶瓷靶材薄膜不均匀是什么原因？
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

[交流] 磁控溅射陶瓷靶材薄膜不均匀是什么原因？已有3人参与

溅射pmnt薄膜总是不均匀，会是什么原因？硅基片不均匀会不会是一个原因呢？每次做出来颜色都不一样。。。

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1楼2016-05-28 11:09:30
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2016-05-28 15:12:12
晶粒尺寸大小差异太大也是原因之一。

用普通的光学显微镜可以看到晶粒不？
磁控溅射陶瓷靶材薄膜不均匀是什么原因？


磁控溅射陶瓷靶材薄膜不均匀是什么原因？-1



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4楼2016-05-28 15:23:26
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
晶粒尺寸大小差异太大也是原因之一。
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狗白汪
2楼2016-05-28 15:12:12
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
用普通的光学显微镜可以看到晶粒不？

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3楼2016-05-28 15:22:01
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-05-28 15:23:26
用普通的光学显微镜可以看到晶粒不？


...

应该是可以的，关键在腐蚀出晶界。
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5楼2016-05-28 15:48:28
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