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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 磁控溅射陶瓷靶材薄膜不均匀是什么原因？
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

[交流] 磁控溅射陶瓷靶材薄膜不均匀是什么原因？ 已有3人参与

溅射pmnt薄膜总是不均匀，会是什么原因？硅基片不均匀会不会是一个原因呢？每次做出来颜色都不一样。。。

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1楼 2016-05-28 11:09:30
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
晶粒尺寸大小差异太大也是原因之一。
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狗白汪
2楼2016-05-28 15:12:12
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
用普通的光学显微镜可以看到晶粒不？

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3楼2016-05-28 15:22:01
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2016-05-28 15:12:12
晶粒尺寸大小差异太大也是原因之一。

用普通的光学显微镜可以看到晶粒不？
磁控溅射陶瓷靶材薄膜不均匀是什么原因？


磁控溅射陶瓷靶材薄膜不均匀是什么原因？-1



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4楼2016-05-28 15:23:26
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
★
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引用回帖:
4楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-05-28 15:23:26
用普通的光学显微镜可以看到晶粒不？


...

应该是可以的，关键在腐蚀出晶界。
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5楼2016-05-28 15:48:28
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by peterflyer at 2016-05-28 15:48:28
应该是可以的，关键在腐蚀出晶界。...

有没有这方面的资料什么的，关于晶粒分析的，我才刚刚接触薄膜，老师也没时间指导。

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6楼2016-05-28 15:58:53
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
★
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6楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-05-28 15:58:53
有没有这方面的资料什么的，关于晶粒分析的，我才刚刚接触薄膜，老师也没时间指导。
...

这需要楼主自己查找文献了。
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7楼2016-05-28 16:25:08
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homeluon

银虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-05-28 15:22:01
用普通的光学显微镜可以看到晶粒不？

看不到

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8楼2016-05-30 11:17:47
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狗白汪

新虫 (小有名气)
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2楼: Originally posted by peterflyer at 2016-05-28 15:12:12
晶粒尺寸大小差异太大也是原因之一。

请问晶粒尺寸差异大导致颜色变化，是由于折射产生的吗？

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9楼2022-06-10 17:26:14
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