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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

[交流] 磁控溅射陶瓷靶材薄膜不均匀是什么原因?已有3人参与

溅射pmnt薄膜总是不均匀,会是什么原因?硅基片不均匀会不会是一个原因呢?每次做出来颜色都不一样。。。

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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
晶粒尺寸大小差异太大也是原因之一。

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2楼2016-05-28 15:12:12
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

用普通的光学显微镜可以看到晶粒不?

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3楼2016-05-28 15:22:01
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2016-05-28 15:12:12
晶粒尺寸大小差异太大也是原因之一。

用普通的光学显微镜可以看到晶粒不?
磁控溅射陶瓷靶材薄膜不均匀是什么原因?


磁控溅射陶瓷靶材薄膜不均匀是什么原因?-1



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4楼2016-05-28 15:23:26
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-05-28 15:23:26
用普通的光学显微镜可以看到晶粒不?


...

应该是可以的,关键在腐蚀出晶界。
5楼2016-05-28 15:48:28
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)

引用回帖:
5楼: Originally posted by peterflyer at 2016-05-28 15:48:28
应该是可以的,关键在腐蚀出晶界。...

有没有这方面的资料什么的,关于晶粒分析的,我才刚刚接触薄膜,老师也没时间指导。

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6楼2016-05-28 15:58:53
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
6楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-05-28 15:58:53
有没有这方面的资料什么的,关于晶粒分析的,我才刚刚接触薄膜,老师也没时间指导。
...

这需要楼主自己查找文献了。
7楼2016-05-28 16:25:08
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homeluon

银虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 强哥哥哥 at 2016-05-28 15:22:01
用普通的光学显微镜可以看到晶粒不?

看不到

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8楼2016-05-30 11:17:47
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狗白汪

新虫 (小有名气)


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2楼: Originally posted by peterflyer at 2016-05-28 15:12:12
晶粒尺寸大小差异太大也是原因之一。

请问晶粒尺寸差异大导致颜色变化,是由于折射产生的吗?

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9楼2022-06-10 17:26:14
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