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新虫 (初入文坛)

[求助] 请教光刻负胶显影不彻底的原因 已有3人参与

光刻负胶曝光显影后,不透光部分总是显不彻底,会残留光刻胶,请教造成这个现象的因素可能有哪些?

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xiaoyueriyue

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
10楼: Originally posted by ameng391 at 2016-05-25 23:28:28
胶膜在显影时老是脱掉 怎么办?

注意一下湿度和温度,如果光刻胶在显影过程中出现剥落的话,我之前做的时候工程师跟我说的,湿度过大会导致光刻胶产生剥落现象。另外就是要注意烘烤时间。其他的就是要慢慢调参数了,祝好。

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14楼2016-07-11 06:53:23
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普通回帖

enola

捐助贵宾 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
曝光的能量或者focus不合适吧?
timeflies..
2楼2016-05-21 15:27:46
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叫我小川兄吧

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
强度不够?显影液时间没把握好?底座是否放平了?显影液一般在冰箱里保存,常温和拿出来倒了就用也是有一定的区别的……可以先弄几片实验一下摸准条件。祝好

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慎独
3楼2016-05-21 23:50:48
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babyoflion

金虫 (著名写手)

加显影时间呗
4楼2016-05-22 10:39:57
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yswyx

专家顾问 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
看什么负胶了,还有你的图像什么样,没有型号参数图片,只能瞎猜的
5楼2016-05-23 15:23:57
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小小小徐

木虫 (正式写手)

曝光时间长了?曝光过度?加热时间不够?

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6楼2016-05-23 22:57:01
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山楂爱棕榈

铁虫 (初入文坛)

显影不彻底的部分是均匀分布还是不均匀的。如果是不均匀的可能是匀胶过程中光刻胶膜旋涂不均匀(这个肉眼可观测。),或者基板不干净。

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7楼2016-05-25 14:48:07
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山楂爱棕榈

铁虫 (初入文坛)

如果是均匀分布的那可能是是曝光时间不够,或者掩膜版没有和基板贴合好。你用的什么负胶?

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8楼2016-05-25 14:49:16
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琦玉老师

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

9楼2016-05-25 17:25:18
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ameng391

新虫 (小有名气)

胶膜在显影时老是脱掉 怎么办?

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10楼2016-05-25 23:28:28
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