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请教光刻负胶显影不彻底的原因 已有3人参与
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光刻负胶曝光显影后，不透光部分总是显不彻底，会残留光刻胶，请教造成这个现象的因素可能有哪些？ 发自小木虫IOS客户端 |
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xiaoyueriyue
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【答案】应助回帖
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注意一下湿度和温度，如果光刻胶在显影过程中出现剥落的话，我之前做的时候工程师跟我说的，湿度过大会导致光刻胶产生剥落现象。另外就是要注意烘烤时间。其他的就是要慢慢调参数了，祝好。 发自小木虫Android客户端 |
14楼2016-07-11 06:53:23
enola
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2楼2016-05-21 15:27:46
叫我小川兄吧
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强度不够？显影液时间没把握好？底座是否放平了？显影液一般在冰箱里保存，常温和拿出来倒了就用也是有一定的区别的……可以先弄几片实验一下摸准条件。祝好 发自小木虫Android客户端 |
3楼2016-05-21 23:50:48
babyoflion
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4楼2016-05-22 10:39:57
yswyx 
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5楼2016-05-23 15:23:57
小小小徐
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