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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请教光刻负胶显影不彻底的原因
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DJBLD

新虫 (初入文坛)

[求助] 请教光刻负胶显影不彻底的原因 已有3人参与

光刻负胶曝光显影后，不透光部分总是显不彻底，会残留光刻胶，请教造成这个现象的因素可能有哪些？

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1楼 2016-05-21 12:54:01
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ameng391

新虫 (小有名气)
胶膜在显影时老是脱掉 怎么办？

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10楼2016-05-25 23:28:28
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enola

捐助贵宾 (正式写手)
★
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曝光的能量或者focus不合适吧?
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timeflies..
2楼2016-05-21 15:27:46
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叫我小川兄吧

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
强度不够？显影液时间没把握好？底座是否放平了？显影液一般在冰箱里保存，常温和拿出来倒了就用也是有一定的区别的……可以先弄几片实验一下摸准条件。祝好

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慎独
3楼2016-05-21 23:50:48
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
看什么负胶了，还有你的图像什么样，没有型号参数图片，只能瞎猜的
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5楼2016-05-23 15:23:57
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