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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 请教光刻负胶显影不彻底的原因
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日月凯

金虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by ameng391 at 2016-05-25 23:28:28
胶膜在显影时老是脱掉 怎么办？

我的也是，在显影的时候，胶就脱了，你解决了么，谢谢
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一个单纯又渴望成功的好人
11楼2016-07-10 11:50:44
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日月凯

金虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by ameng391 at 2016-05-25 23:28:28
胶膜在显影时老是脱掉 怎么办？

我的也是，显影完了胶就掉了，你的解决了么，谢谢
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一个单纯又渴望成功的好人
12楼2016-07-10 11:56:57
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日月凯

金虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by ameng391 at 2016-05-25 23:28:28
胶膜在显影时老是脱掉 怎么办？

我的也是，显影完了胶就掉了，你的解决了么，谢谢
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一个单纯又渴望成功的好人
13楼2016-07-10 19:08:26
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xiaoyueriyue

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
10楼: Originally posted by ameng391 at 2016-05-25 23:28:28
胶膜在显影时老是脱掉 怎么办？

注意一下湿度和温度，如果光刻胶在显影过程中出现剥落的话，我之前做的时候工程师跟我说的，湿度过大会导致光刻胶产生剥落现象。另外就是要注意烘烤时间。其他的就是要慢慢调参数了，祝好。

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14楼2016-07-11 06:53:23
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stwoo

铁虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

我的也是，显影完了掉胶，而且胶扑到了整个硅片，可脏了，你出现过这样的问题吗，谢谢
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15楼2018-12-22 16:25:14
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