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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 重大装备 » AFM校正膜厚问题
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竹玉箫

木虫 (职业作家)

[交流] AFM校正膜厚问题

课题组买了台真空蒸镀设备。本人用AFM来校正得到的膜厚，用注射器的针头在制备的薄膜上划一道痕，测试划痕两边的高度差来确定薄膜的厚度。试过多次，觉得这种方法得到的膜厚误差较大，主要来源是划痕不好控制。想问问各位大神有没有别的好方法来校正得到薄膜的厚度。
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1楼 2016-05-20 10:31:49
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doug98

铜虫 (正式写手)
★
竹玉箫(金币+1): 谢谢参与
制备台阶更好

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17楼2016-05-21 22:02:35
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香菜_晔11楼
2016-05-20 11:23   回复  
竹玉箫(金币+1): 谢谢参与
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