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AFM校正膜厚问题
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| 课题组买了台真空蒸镀设备。本人用AFM来校正得到的膜厚，用注射器的针头在制备的薄膜上划一道痕，测试划痕两边的高度差来确定薄膜的厚度。试过多次，觉得这种方法得到的膜厚误差较大，主要来源是划痕不好控制。想问问各位大神有没有别的好方法来校正得到薄膜的厚度。 |
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