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竹玉箫

木虫 (职业作家)

[交流] AFM校正膜厚问题

课题组买了台真空蒸镀设备。本人用AFM来校正得到的膜厚，用注射器的针头在制备的薄膜上划一道痕，测试划痕两边的高度差来确定薄膜的厚度。试过多次，觉得这种方法得到的膜厚误差较大，主要来源是划痕不好控制。想问问各位大神有没有别的好方法来校正得到薄膜的厚度。
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1楼 2016-05-20 10:31:49
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x爱上在路上

铁杆木虫 (著名写手)
★
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16楼2016-05-21 07:58:49
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doug98

铜虫 (正式写手)
★
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制备台阶更好

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17楼2016-05-21 22:02:35
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石头阿呆2楼
2016-05-20 10:35   回复  
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.
hydzp3楼
2016-05-20 10:53   回复  
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liuguot4楼
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xhmaohan5楼
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heniulx6楼
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guoxiaom7楼
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wtbccq5058楼
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假大空9楼
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yangshengx10楼
2016-05-20 11:12   回复  
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香菜_晔11楼
2016-05-20 11:23   回复  
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shenrenren12楼
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jinhut13楼
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zhenwuhuang14楼
2016-05-20 11:33   回复  
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yanyuxiaoxi15楼
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