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竹玉箫

木虫 (职业作家)


[交流] AFM校正膜厚问题

课题组买了台真空蒸镀设备。本人用AFM来校正得到的膜厚,用注射器的针头在制备的薄膜上划一道痕,测试划痕两边的高度差来确定薄膜的厚度。试过多次,觉得这种方法得到的膜厚误差较大,主要来源是划痕不好控制。想问问各位大神有没有别的好方法来校正得到薄膜的厚度。
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16楼2016-05-21 07:58:49
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香菜_晔11楼
2016-05-20 11:23   回复  
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