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FLYFWY

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射靶材发黑 已有1人参与

磁控溅射用的黄铜靶,Al靶,Zr靶,前两个在镀膜后非跑道区域发黑,但Zr就没出现这种情况。
镀出来的膜反光都还不错,不知这正不正常。

磁控溅射靶材发黑
Zr.png


磁控溅射靶材发黑-1
Al.png


磁控溅射靶材发黑-2
黄铜.png
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FLYFWY

木虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by shi2015 at 2016-05-14 09:37:40
应该是在真空环境下镀膜的啊,怎么会黑了呢,是不是内壁该清理了

内壁清理过啊~

发自小木虫IOS客户端
9楼2016-05-15 08:30:34
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
猜测有可能是发生了氧化所致。
2楼2016-05-13 17:45:30
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cyg376116

银虫 (小有名气)

第一感觉也是氧化了,另外纯度怎么样?
其实你很好!
3楼2016-05-14 08:54:59
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shi2015

金虫 (小有名气)

应该是在真空环境下镀膜的啊,怎么会黑了呢,是不是内壁该清理了

发自小木虫Android客户端
4楼2016-05-14 09:37:40
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