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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 成型与控制 » 磁控溅射靶材发黑
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FLYFWY

木虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射靶材发黑 已有1人参与

磁控溅射用的黄铜靶，Al靶，Zr靶，前两个在镀膜后非跑道区域发黑，但Zr就没出现这种情况。
镀出来的膜反光都还不错，不知这正不正常。

磁控溅射靶材发黑
Zr.png


磁控溅射靶材发黑-1
Al.png


磁控溅射靶材发黑-2
黄铜.png
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1楼 2016-05-13 17:10:38
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
猜测有可能是发生了氧化所致。
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2楼2016-05-13 17:45:30
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
磁控溅射靶材发黑-3

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14楼2016-05-16 10:10:07
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cyg376116

银虫 (小有名气)
第一感觉也是氧化了，另外纯度怎么样？
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其实你很好！
3楼2016-05-14 08:54:59
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shi2015

金虫 (小有名气)
应该是在真空环境下镀膜的啊，怎么会黑了呢，是不是内壁该清理了

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4楼2016-05-14 09:37:40
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caojingpie

木虫 (小有名气)
反应气体是什么

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5楼2016-05-15 07:13:10
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caojingpie

木虫 (小有名气)
感觉像氧化

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6楼2016-05-15 07:14:41
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by cyg376116 at 2016-05-14 08:54:59
第一感觉也是氧化了，另外纯度怎么样？

靶材纯度都在3N5以上

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7楼2016-05-15 08:29:13
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by caojingpie at 2016-05-15 07:13:10
反应气体是什么

用的Ar气

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8楼2016-05-15 08:29:32
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FLYFWY

木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by shi2015 at 2016-05-14 09:37:40
应该是在真空环境下镀膜的啊，怎么会黑了呢，是不是内壁该清理了

内壁清理过啊～

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9楼2016-05-15 08:30:34
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
你这个溅射枪是用来工业溅射么的么?
设计的是方形的?
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10楼2016-05-15 17:26:59
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