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磁控溅射靶材发黑
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FLYFWY
木虫
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专业: 光学信息获取与处理
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磁控溅射靶材发黑
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磁控溅射用的黄铜靶,Al靶,Zr靶,前两个在镀膜后非跑道区域发黑,但Zr就没出现这种情况。
镀出来的膜反光都还不错,不知这正不正常。
Zr.png
Al.png
黄铜.png
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1楼
2016-05-13 17:10:38
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icwafer
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性别: GG
专业: 功能陶瓷
如果是靶材问题,那只能换靶材了
发自小木虫Android客户端
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为人民币服务!
16楼
2016-05-16 19:52:21
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peterflyer
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peterflyer
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虫号: 1482829
注册: 2011-11-08
性别: GG
专业: 功能陶瓷
【答案】应助回帖
感谢参与,应助指数 +1
猜测有可能是发生了氧化所致。
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2楼
2016-05-13 17:45:30
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cyg376116
银虫
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性别: GG
专业: 金属结构材料
第一感觉也是氧化了,另外纯度怎么样?
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其实你很好!
3楼
2016-05-14 08:54:59
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shi2015
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注册: 2015-12-30
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专业: 金属材料表面科学与工程
应该是在真空环境下镀膜的啊,怎么会黑了呢,是不是内壁该清理了
发自小木虫Android客户端
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4楼
2016-05-14 09:37:40
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