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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射TiN涂层硬度偏低很多，求大家分析一下可能的原因。
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CaesarKKK

铁虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射TiN涂层硬度偏低很多，求大家分析一下可能的原因。 已有1人参与

在硬度为8GPa的52100钢基体上溅射一层TiN，用纳米压痕测量涂层硬度一直连10GPa都达不到，求做相关方向的虫友分析一下可能的原因。感激不尽！

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1楼 2016-04-23 10:51:16
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sangxianxian

铜虫 (正式写手)
压过去了。也就是压痕穿透涂层了

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2楼2016-04-23 13:13:19
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普通回帖

哎哟哟
？

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3楼2016-04-23 13:18:04
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CaesarKKK

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by sangxianxian at 2016-04-23 13:13:19
压过去了。也就是压痕穿透涂层了

应该不至于，压痕才100nm左右，涂层有1000nm。

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4楼2016-04-23 17:14:02
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剑雨逸

木虫 (著名写手)
涂层大概多厚，镀了多长时间

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5楼2016-04-23 17:45:59
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sangxianxian

铜虫 (正式写手)
你涂层测厚度了吗？

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6楼2016-04-23 20:01:14
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CaesarKKK

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by 剑雨逸 at 2016-04-23 17:45:59
涂层大概多厚，镀了多长时间

涂层大概一个微米厚，我就很纳闷有时候还能打出5GPa的数据出来，基体都没这么软，同时可以肯定纳米压痕设备是没有问题的。

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7楼2016-04-23 23:24:56
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mktech

新虫 (正式写手)
估计溅射功率不够

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8楼2016-04-27 18:06:06
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yanglw23

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

粘样有问题或者压头的area function有问题。建议做个循环加载的纳米压痕，得到硬度随深度的变化，然后就能判断到底是哪里出了问题
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9楼2016-05-20 05:02:11
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fpei_csu

银虫 (小有名气)
压痕深度要小于1/10涂层厚度，你用更小的力去压一下试试，偏压调高一些可以提高硬度

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10楼2016-07-16 17:00:44
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