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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射TiN涂层硬度偏低很多，求大家分析一下可能的原因。
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CaesarKKK

铁虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射TiN涂层硬度偏低很多，求大家分析一下可能的原因。 已有1人参与

在硬度为8GPa的52100钢基体上溅射一层TiN，用纳米压痕测量涂层硬度一直连10GPa都达不到，求做相关方向的虫友分析一下可能的原因。感激不尽！

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1楼 2016-04-23 10:51:16
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yanglw23

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

粘样有问题或者压头的area function有问题。建议做个循环加载的纳米压痕，得到硬度随深度的变化，然后就能判断到底是哪里出了问题
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9楼2016-05-20 05:02:11
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sangxianxian

铜虫 (正式写手)
压过去了。也就是压痕穿透涂层了

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2楼2016-04-23 13:13:19
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哎哟哟
？

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3楼2016-04-23 13:18:04
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CaesarKKK

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by sangxianxian at 2016-04-23 13:13:19
压过去了。也就是压痕穿透涂层了

应该不至于，压痕才100nm左右，涂层有1000nm。

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4楼2016-04-23 17:14:02
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