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CaesarKKK

铁虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射TiN涂层硬度偏低很多,求大家分析一下可能的原因。 已有1人参与

在硬度为8GPa的52100钢基体上溅射一层TiN,用纳米压痕测量涂层硬度一直连10GPa都达不到,求做相关方向的虫友分析一下可能的原因。感激不尽!

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CaesarKKK

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by 剑雨逸 at 2016-04-23 17:45:59
涂层大概多厚,镀了多长时间

涂层大概一个微米厚,我就很纳闷有时候还能打出5GPa的数据出来,基体都没这么软,同时可以肯定纳米压痕设备是没有问题的。

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7楼2016-04-23 23:24:56
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sangxianxian

铜虫 (正式写手)

压过去了。也就是压痕穿透涂层了

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2楼2016-04-23 13:13:19
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3楼2016-04-23 13:18:04
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CaesarKKK

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by sangxianxian at 2016-04-23 13:13:19
压过去了。也就是压痕穿透涂层了

应该不至于,压痕才100nm左右,涂层有1000nm。

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4楼2016-04-23 17:14:02
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