应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 用磁控溅射法镀铝膜的沉积速率过低，可能的原因有哪些？
51/1返回列表
查看: 1989  |  回复: 5
只看楼主@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

我就是me

新虫 (初入文坛)

[求助] 用磁控溅射法镀铝膜的沉积速率过低，可能的原因有哪些？

用磁控溅射法镀铝膜的沉积速率过低，可能的原因有哪些，选用的功率，沉积气压都正常？
回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

徐贝贝爱贝贝

» 猜你喜欢
踏实认真
1楼2016-04-22 11:02:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

我就是me

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2016-04-23 07:21:55
请楼主描述下工艺参数

直流溅射，沉积气压：0.2Pa，功率：100W，Ar流量：100Sccm
赞一下 回复此楼
踏实认真
3楼2016-04-25 09:27:31
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 6 个回答

Friend007

银虫 (知名作家)
请楼主描述下工艺参数

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2016-04-23 07:21:55
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 我就是me at 2016-04-25 09:27:31
直流溅射，沉积气压：0.2Pa，功率：100W，Ar流量：100Sccm...

加大功率试试

发自小木虫Android客户端
回复此楼
4楼2016-04-25 17:39:51
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

东东那个东

金虫 (正式写手)
★ ★
我就是me(keailinger代发): 金币+2, 感谢发帖应助。 2016-06-22 08:45:43
您的仪器是哪家生产的？不仪器其出厂设置参数不一样。
我的实验仪器在遇到沉积速率低时：
1、我会观察气压是不是太低，仪表有时是靠不住的，或者说滞后太明显。
2、回想基底有没有清洗过或者有没有清洗干净
3、预溅射时间是不是太短了，表面氧化膜有没有打掉
4、腔体漏气。
赞一下 回复此楼
头疼
5楼2016-06-21 16:43:38
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 6 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭