24小时热门版块排行榜    

查看: 2105  |  回复: 5
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

我就是me

新虫 (初入文坛)

[求助] 用磁控溅射法镀铝膜的沉积速率过低,可能的原因有哪些?

用磁控溅射法镀铝膜的沉积速率过低,可能的原因有哪些,选用的功率,沉积气压都正常?
回复此楼
踏实认真
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

我就是me

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2016-04-23 07:21:55
请楼主描述下工艺参数

直流溅射,沉积气压:0.2Pa,功率:100W,Ar流量:100Sccm
踏实认真
3楼2016-04-25 09:27:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 6 个回答

Friend007

银虫 (知名作家)


2楼2016-04-23 07:21:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)


引用回帖:
3楼: Originally posted by 我就是me at 2016-04-25 09:27:31
直流溅射,沉积气压:0.2Pa,功率:100W,Ar流量:100Sccm...

加大功率试试

发自小木虫Android客户端
4楼2016-04-25 17:39:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

东东那个东

金虫 (正式写手)

★ ★
我就是me(keailinger代发): 金币+2, 感谢发帖应助。 2016-06-22 08:45:43
您的仪器是哪家生产的?不仪器其出厂设置参数不一样。
我的实验仪器在遇到沉积速率低时:
1、我会观察气压是不是太低,仪表有时是靠不住的,或者说滞后太明显。
2、回想基底有没有清洗过或者有没有清洗干净
3、预溅射时间是不是太短了,表面氧化膜有没有打掉
4、腔体漏气。
头疼
5楼2016-06-21 16:43:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 085601材料工程专硕求调剂 +5 慕寒mio 2026-03-16 5/250 2026-03-17 21:31 by hmn_wj
[考研] 293求调剂 +7 zjl的号 2026-03-16 12/600 2026-03-17 18:22 by 重科小霸王
[考研] 211本,11408一志愿中科院277分,曾在中科院自动化所实习 +6 Losir 2026-03-12 7/350 2026-03-17 12:09 by danranxie
[考研] 材料专硕274一志愿陕西师范大学求调剂 +5 薛云鹏 2026-03-13 5/250 2026-03-17 10:15 by Sammy2
[考研] 考研调剂 +3 淇ya_~ 2026-03-17 5/250 2026-03-17 09:25 by Winj1e
[考研] 070303 总分349求调剂 +3 LJY9966 2026-03-15 5/250 2026-03-16 14:24 by xwxstudy
[考研] 327求调剂 +6 拾光任染 2026-03-15 11/550 2026-03-15 22:47 by 拾光任染
[考研] 288求调剂 +4 奇点0314 2026-03-14 4/200 2026-03-14 23:04 by JourneyLucky
[考研] 本科南京大学一志愿川大药学327 +3 麦田耕者 2026-03-14 3/150 2026-03-14 20:04 by 外星文明
[考研] 材料工程调剂 +9 咪咪空空 2026-03-12 9/450 2026-03-13 22:05 by 星空星月
[考研] 求材料调剂 085600英一数二总分302 前三科235 精通机器学习 一志愿哈工大 +4 林yaxin 2026-03-12 4/200 2026-03-13 22:04 by 星空星月
[考研] 0856材料与化工301求调剂 +5 奕束光 2026-03-13 5/250 2026-03-13 22:00 by 星空星月
[考研] 290求调剂 +9 ADT 2026-03-11 9/450 2026-03-13 21:55 by JourneyLucky
[考研] 333求调剂 +3 球球古力 2026-03-11 3/150 2026-03-13 21:27 by JourneyLucky
[考研] 材料与化工085600调剂求老师收留 +9 jiaanl 2026-03-11 9/450 2026-03-13 20:22 by JourneyLucky
[考研] 【考研调剂求收留】 +3 Ceciilia 2026-03-11 3/150 2026-03-13 20:18 by JourneyLucky
[考研] 310求调剂 +3 【上上签】 2026-03-11 3/150 2026-03-13 16:16 by JourneyLucky
[考研] 土木第一志愿276求调剂,科研和技能十分丰富,求新兴方向的导师收留 +3 土木小天才 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:01 by JourneyLucky
[考研] 328化工专硕求调剂 +4 。,。,。,。i 2026-03-12 4/200 2026-03-13 14:44 by JourneyLucky
[论文投稿] 投稿问题 5+4 星光灿烂xt 2026-03-12 6/300 2026-03-13 14:17 by god_tian
信息提示
请填处理意见