应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 用磁控溅射法镀铝膜的沉积速率过低，可能的原因有哪些？
61/1返回列表
查看: 2116  |  回复: 5
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

我就是me

新虫 (初入文坛)

[求助] 用磁控溅射法镀铝膜的沉积速率过低，可能的原因有哪些？

用磁控溅射法镀铝膜的沉积速率过低，可能的原因有哪些，选用的功率，沉积气压都正常？
回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

徐贝贝爱贝贝

» 猜你喜欢
踏实认真
1楼 2016-04-22 11:02:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)
请楼主描述下工艺参数

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2016-04-23 07:21:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

我就是me

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2016-04-23 07:21:55
请楼主描述下工艺参数

直流溅射，沉积气压：0.2Pa，功率：100W，Ar流量：100Sccm
赞一下 回复此楼
踏实认真
3楼2016-04-25 09:27:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 我就是me at 2016-04-25 09:27:31
直流溅射，沉积气压：0.2Pa，功率：100W，Ar流量：100Sccm...

加大功率试试

发自小木虫Android客户端
回复此楼
4楼2016-04-25 17:39:51
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

东东那个东

金虫 (正式写手)
★ ★
我就是me(keailinger代发): 金币+2, 感谢发帖应助。 2016-06-22 08:45:43
您的仪器是哪家生产的？不仪器其出厂设置参数不一样。
我的实验仪器在遇到沉积速率低时：
1、我会观察气压是不是太低，仪表有时是靠不住的，或者说滞后太明显。
2、回想基底有没有清洗过或者有没有清洗干净
3、预溅射时间是不是太短了，表面氧化膜有没有打掉
4、腔体漏气。
赞一下 回复此楼
头疼
5楼2016-06-21 16:43:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

徐贝贝爱贝贝

铜虫 (初入文坛)
送红花一朵
请问楼主问题解决了吗？我目前也遇到这样的问题，想知道怎么解决的，谢谢
赞一下 回复此楼
香蕉、苹果
6楼2022-04-12 20:21:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 我就是me 的主题更新
61/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 286求调剂 +10 Faune 2026-03-21 10/500 2026-03-21 23:34 by 314126402
[考研] 一志愿北京化工大学070300 学硕336求调剂 +3 vv迷 2026-03-21 4/200 2026-03-21 23:05 by f19980501
[考研] 材料求调剂 +5 @taotao 2026-03-21 5/250 2026-03-21 20:55 by lbsjt
[考研] 考研化学学硕调剂，一志愿985 +5 张vvvv 2026-03-15 7/350 2026-03-21 19:23 by ColorlessPI
[考研] 0703化学调剂 +4 妮妮ninicgb 2026-03-21 4/200 2026-03-21 18:39 by 学员8dgXkO
[考研] 【考研调剂】化学专业 281分，一志愿四川大学，诚心求调剂 +11 吃吃吃才有意义 2026-03-19 11/550 2026-03-21 18:23 by 学员8dgXkO
[考研] 一志愿深大，0703化学，总分302，求调剂 +4 七月-七七 2026-03-21 4/200 2026-03-21 18:20 by 学员8dgXkO
[考研] 307求调剂 +3 余意卿 2026-03-18 3/150 2026-03-21 17:31 by ColorlessPI
[考研] 材料 271求调剂 +5 展信悦_ 2026-03-21 5/250 2026-03-21 17:29 by 学员8dgXkO
[考研] 26考研一志愿中国石油大学(华东)305分求调剂 +6 嘉年新程 2026-03-15 6/300 2026-03-21 17:07 by Dream007008
[考研] 265求调剂 +3 Jack?k?y 2026-03-17 3/150 2026-03-21 03:17 by JourneyLucky
[考研] 一志愿华中科技大学，080502，354分求调剂 +5 守候夕阳CF 2026-03-18 5/250 2026-03-21 01:06 by JourneyLucky
[考研] 085600材料与化工 +8 安全上岸！ 2026-03-16 8/400 2026-03-20 22:13 by luoyongfeng
[考研] 350求调剂 +5 weudhdk 2026-03-19 5/250 2026-03-20 22:04 by luoyongfeng
[考研] 一志愿吉林大学材料学硕321求调剂 +11 Ymlll 2026-03-18 15/750 2026-03-20 19:40 by 丁丁*
[考研] 085601专硕，总分342求调剂，地区不限 +5 share_joy 2026-03-16 5/250 2026-03-18 14:48 by haxia
[考研] 0854可跨调剂，一作一项核心论文五项专利，省、国级证书40+数一英一287 +8 小李0854 2026-03-16 8/400 2026-03-18 14:35 by 搏击518
[考研] 085601求调剂 +4 Du.11 2026-03-16 4/200 2026-03-17 17:08 by ruiyingmiao
[考研] 290求调剂 +3 p asserby. 2026-03-15 4/200 2026-03-17 16:35 by wangkm
[考研] 070300化学学硕求调剂 +6 太想进步了0608 2026-03-16 6/300 2026-03-16 16:13 by kykm678
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭