| 查看: 1224 | 回复: 4 | ||
faintchang金虫 (正式写手)
|
[求助]
HF去除3C-SiC表面SiO2已有1人参与
|
| 3C-SiC衬底表面存在2nm左右的自然氧化层SiO2，参考清洗Si片的方法——使用10%的HF浸泡3C-SiC（时间从2min到24h不等），最终测试发现SiC衬底表面的氧化层完全没有反应，厚度跟处理之前一样的。请问一下是HF的浓度需要调整吗？还是清洗过程中需要加热？超声？之类的操作？ |
回复此楼» 猜你喜欢
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有180人回复
tsung
木虫 (小有名气)
- 应助: 5 (幼儿园)
- 金币: 1659.9
- 散金: 12
- 帖子: 171
- 在线: 228.2小时
- 虫号: 2177061
- 注册: 2012-12-10
- 性别: GG
- 专业: 微/纳机械系统
2楼2016-04-20 10:13:14
3楼2016-04-20 11:03:34
faintchang
金虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 3789.4
- 红花: 1
- 帖子: 526
- 在线: 182.1小时
- 虫号: 812109
- 注册: 2009-07-20
- 性别: MM
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
4楼2016-04-21 08:37:09
faintchang
金虫 (正式写手)
- 应助: 2 (幼儿园)
- 金币: 3789.4
- 红花: 1
- 帖子: 526
- 在线: 182.1小时
- 虫号: 812109
- 注册: 2009-07-20
- 性别: MM
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
5楼2016-04-21 08:38:28