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mao1643金虫 (初入文坛)
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靶材破裂 已有2人参与
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| 如何防止磁控溅射过程中陶瓷靶材破裂 |
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 薄膜制备与特性 |
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4楼2016-04-27 15:33:34
2楼2016-04-15 15:14:11
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mao1643: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2016-09-09 17:32:25
感谢参与，应助指数 +1
mao1643: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2016-09-09 17:32:25
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1.提高靶材的冷却效率，可以采用绑定紫铜背靶提高导热效率，比较复杂。简单方法可以加大冷却水的流量，提高陶瓷靶材背面的平整度与磁控靶的冷却阴极紧密贴合，可以考虑在背面涂抹少量导热硅脂，提高陶瓷靶的导热效率。 2.降低溅射功率，产生的轰击热量少些。 3.可以考虑提高真空度，这样轰击靶面的氩离子的密度降低，能量增大，总能量中用于溅射的能量增大，产生的热量降低。但是可能会由于氩离子密度降低，使得溅射速率降低影响沉积速率。 4.另外一定要注意一些细节，例如固定靶材时的压力不要太大，否则受热以后引起更大的应变产生更大的应力，靶材压环最好换成导热系数高，质地软的材料（包括螺钉），靶材和靶材压环都需要和阴极密切贴合，提高导热效率。尤其是靶材压环，因为它从上部温度较高区域传导热量。 |
3楼2016-04-15 20:27:40
北京众诚新材 
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5楼2016-11-29 18:10:38
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