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mao1643

金虫 (初入文坛)

[求助] 靶材破裂 已有2人参与

如何防止磁控溅射过程中陶瓷靶材破裂
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薄膜制备与特性

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当当虫虫

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
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mao1643: 金币+10 2016-09-09 17:32:06
做陶瓷靶时建议做下绑定(铟焊绑定铜背靶),另使用时功率不要太高。
2楼2016-04-15 15:14:11
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杨建军205

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
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mao1643: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2016-09-09 17:32:25
1.提高靶材的冷却效率,可以采用绑定紫铜背靶提高导热效率,比较复杂。简单方法可以加大冷却水的流量,提高陶瓷靶材背面的平整度与磁控靶的冷却阴极紧密贴合,可以考虑在背面涂抹少量导热硅脂,提高陶瓷靶的导热效率。
2.降低溅射功率,产生的轰击热量少些。
3.可以考虑提高真空度,这样轰击靶面的氩离子的密度降低,能量增大,总能量中用于溅射的能量增大,产生的热量降低。但是可能会由于氩离子密度降低,使得溅射速率降低影响沉积速率。
4.另外一定要注意一些细节,例如固定靶材时的压力不要太大,否则受热以后引起更大的应变产生更大的应力,靶材压环最好换成导热系数高,质地软的材料(包括螺钉),靶材和靶材压环都需要和阴极密切贴合,提高导热效率。尤其是靶材压环,因为它从上部温度较高区域传导热量。
3楼2016-04-15 20:27:40
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szz-bj

铜虫 (小有名气)

bonding一下会好一点,但是溅射的时间也不要过长、温度一升高很容易裂开
4楼2016-04-27 15:33:34
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北京众诚新材

捐助贵宾 (初入文坛)


陶瓷靶材最好进行绑定,溅射功率控制好,用时需要预溅射,一次溅射时间不宜过长,冷却时功率逐渐降低
5楼2016-11-29 18:10:38
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