| 查看: 1473 | 回复: 4 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
mao1643金虫 (初入文坛)
|
[求助]
靶材破裂 已有2人参与
|
||
| 如何防止磁控溅射过程中陶瓷靶材破裂 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 薄膜制备与特性 |
» 猜你喜欢
有多少人是今天查系统知道结果的？
已经有14人回复
-
系统查不到
已经有8人回复
-
科研孤儿太难了
已经有22人回复
-
怎么查啊
已经有4人回复
-
国合里面能看到了
已经有7人回复
-
国际合作可查了，中了面上
已经有18人回复
-
能否退出参与的面上项目解除限项
已经有25人回复
-
系统进不去
已经有5人回复
-
2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战
已经有8人回复
-
项目信息和经费信息在系统里都可以看到了
已经有14人回复
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
mao1643: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2016-09-09 17:32:25
感谢参与，应助指数 +1
mao1643: 金币+10, ★★★★★最佳答案 2016-09-09 17:32:25
|
1.提高靶材的冷却效率，可以采用绑定紫铜背靶提高导热效率，比较复杂。简单方法可以加大冷却水的流量，提高陶瓷靶材背面的平整度与磁控靶的冷却阴极紧密贴合，可以考虑在背面涂抹少量导热硅脂，提高陶瓷靶的导热效率。 2.降低溅射功率，产生的轰击热量少些。 3.可以考虑提高真空度，这样轰击靶面的氩离子的密度降低，能量增大，总能量中用于溅射的能量增大，产生的热量降低。但是可能会由于氩离子密度降低，使得溅射速率降低影响沉积速率。 4.另外一定要注意一些细节，例如固定靶材时的压力不要太大，否则受热以后引起更大的应变产生更大的应力，靶材压环最好换成导热系数高，质地软的材料（包括螺钉），靶材和靶材压环都需要和阴极密切贴合，提高导热效率。尤其是靶材压环，因为它从上部温度较高区域传导热量。 |
3楼2016-04-15 20:27:40
2楼2016-04-15 15:14:11
4楼2016-04-27 15:33:34
北京众诚新材 
捐助贵宾 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 165.1
- 散金: 4
- 帖子: 41
- 在线: 6.5小时
- 虫号: 5292898
- 注册: 2016-11-28
- 性别: GG
- 专业: 金属非晶态、准晶和纳米晶
5楼2016-11-29 18:10:38
