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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 磁控溅射时加负偏压对薄膜结晶度的影响
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yangyueyf

银虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射时加负偏压对薄膜结晶度的影响 已有2人参与

本菇凉使用CZTS靶材磁控溅射CZTS时，发现溅射后的CZTS薄膜结晶度很差，晶粒度特别小，老板让我下次溅射的时候加上一定的负偏压试试，不知道这个负偏压对溅射过程有哪些影响，能不能提高溅射薄膜的结晶度，多谢各位大侠啦~
大恩不言谢，小女子直接

磁控溅射时加负偏压对薄膜结晶度的影响
薄膜表面形貌.jpg
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1楼 2016-03-25 20:11:47
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
39楼2016-04-13 10:40:17
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
40楼2016-04-13 16:23:42
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
41楼2016-04-14 09:43:47
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
42楼2016-04-14 17:25:37
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
43楼2016-04-15 15:43:17
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
44楼2016-04-16 08:24:41
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
45楼2016-04-17 21:14:02
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
46楼2016-04-18 11:46:49
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
47楼2016-04-19 08:58:42
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yangyueyf

银虫 (正式写手)
48楼2016-04-19 19:05:11
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