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yy012358

新虫 (初入文坛)

[求助] SRIM软件模拟离子注入金属的真实性有多少?

各位大神,小弟最近在用SRIM软件仿真F离子注入复合靶,最上面一层是金属,想咨询一下仿真结果和真实情况的差异有多大?几十纳米的金属薄层真的能打穿么?
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yuxiaoinbuaa

至尊木虫 (职业作家)

可以先用SRIM算算,大致的量级可以先看看。

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Yourconfidencespeaksforyoursoundjudgement.
6楼2016-03-27 17:17:05
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yuxiaoinbuaa

至尊木虫 (职业作家)

你一点注入离子的信息都没提供,怎么回答?

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Yourconfidencespeaksforyoursoundjudgement.
2楼2016-03-27 01:49:36
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yy012358

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yuxiaoinbuaa at 2016-03-27 01:49:36
你一点注入离子的信息都没提供,怎么回答?

具体是F离子注入金属(Al/Cu/Sn/Pt)和SiNx的混合靶,金属40nm以下,SiNx15nm。SRIM的仿真结果中离子分布和实际差距多大?
------------------------------------------------------------------------------------------
小弟第一次提问,还请大神指教~
3楼2016-03-27 16:58:34
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yuxiaoinbuaa

至尊木虫 (职业作家)

Yourconfidencespeaksforyoursoundjudgement.
4楼2016-03-27 17:09:25
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