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yy012358

新虫 (初入文坛)

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[求助] SRIM软件模拟离子注入金属的真实性有多少？

各位大神，小弟最近在用SRIM软件仿真F离子注入复合靶，最上面一层是金属，想咨询一下仿真结果和真实情况的差异有多大？几十纳米的金属薄层真的能打穿么？

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1楼 2016-03-24 11:21:41

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yy012358

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引用回帖:

2楼: Originally posted by yuxiaoinbuaa at 2016-03-27 01:49:36
你一点注入离子的信息都没提供，怎么回答？

具体是F离子注入金属（Al/Cu/Sn/Pt）和SiNx的混合靶，金属40nm以下，SiNx15nm。SRIM的仿真结果中离子分布和实际差距多大？
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小弟第一次提问，还请大神指教~