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SRIM软件模拟离子注入金属的真实性有多少？
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| 各位大神，小弟最近在用SRIM软件仿真F离子注入复合靶，最上面一层是金属，想咨询一下仿真结果和真实情况的差异有多大？几十纳米的金属薄层真的能打穿么？ |
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