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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射金属钨薄膜出现α-W与β-W两种相结构
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325114100

新虫 (小有名气)

[求助] 磁控溅射金属钨薄膜出现α-W与β-W两种相结构 已有1人参与

磁控溅射金属钨薄膜通过XRD分析出现α-W与β-W两种相结构，是否可以通过EBSD来标定出α-W与β-W的分布呢，或者其它方法来在微区下标定其物相，下图为做的钨薄膜的SEM图，请指教！

磁控溅射金属钨薄膜出现α-W与β-W两种相结构
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磁控溅射金属钨薄膜出现α-W与β-W两种相结构-1
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1楼 2016-03-15 08:19:57
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
325114100: 金币+10, ★★★很有帮助 2016-05-26 08:26:39
ebsd 可以分析薄膜的取向。我最近也在做磁控溅射的薄膜ebsd，虽然一直没有做出来。
但是ebsd分析的薄膜晶粒尺寸要是小于50nm，就没有衍射花样了。曾看到北科大的一篇200nm晶粒 Cu薄膜的ebsd分析文章。薄膜制备中有应力，要做ebsd的话，需要去应力。可以采取热处理（退火），或者腐蚀去应力（用对应的金相腐蚀液）。薄膜的话，我还是推荐热处理去应力。因为宝宝采取腐蚀一直做不成啊。最近准备热处理试试看。

欢迎多多交流。
我是北科大的学生。
祝好运
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

hihxl1
有今生 有来生 有因果 有轮回
3楼2016-05-24 09:07:43
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顽皮猫

银虫 (小有名气)
你好，你的样品制备条件是什么？

我在si片上用磁控溅射做了190nm厚的钨，没有加热，在SEM 下拍不到清楚的图片。你知道这是什么原因引起的吗？
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8楼2016-08-15 10:30:12
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普通回帖

325114100

新虫 (小有名气)
顶一下，没人回答啊！
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2楼2016-03-16 21:07:09
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325114100

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by 净慧婍兴 at 2016-05-24 09:07:43
ebsd 可以分析薄膜的取向。我最近也在做磁控溅射的薄膜ebsd，虽然一直没有做出来。
但是ebsd分析的薄膜晶粒尺寸要是小于50nm，就没有衍射花样了。曾看到北科大的一篇200nm晶粒 Cu薄膜的ebsd分析文章。薄膜制备中有 ...

我也做了EBSD，但是晶粒忒小了，根本没有菊池，热处理会导致薄膜物相变化，我也是不知道怎么弄了
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4楼2016-05-26 08:27:40
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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 325114100 at 2016-05-26 08:27:40
我也做了EBSD，但是晶粒忒小了，根本没有菊池，热处理会导致薄膜物相变化，我也是不知道怎么弄了...

我觉得晶粒大小在200nm以上就没问题。看看表面是否清洁，还有就是想办法去内应力。你薄膜制备的过程中会加热吗？

不行的话，xrd也可以画出来ODF图。就是标不出来分布。不够直观。
加油加油~
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有今生 有来生 有因果 有轮回
5楼2016-05-26 09:46:25
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hihxl1

木虫 (正式写手)
送红花一朵
引用回帖:
3楼: Originally posted by 净慧婍兴 at 2016-05-24 09:07:43
ebsd 可以分析薄膜的取向。我最近也在做磁控溅射的薄膜ebsd，虽然一直没有做出来。
但是ebsd分析的薄膜晶粒尺寸要是小于50nm，就没有衍射花样了。曾看到北科大的一篇200nm晶粒 Cu薄膜的ebsd分析文章。薄膜制备中有 ...

请问你是做什么薄膜的呀，哪个老师的学生，我也是北科的学生，目前一个也是做薄膜的ebsd，可以多交流下。

发自小木虫Android客户端
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新年里我要好好努力！创造新的辉煌！
6楼2016-05-30 07:28:17
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净慧婍兴

铁杆木虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by hihxl1 at 2016-05-30 07:28:17
请问你是做什么薄膜的呀，哪个老师的学生，我也是北科的学生，目前一个也是做薄膜的ebsd，可以多交流下。
...

好啊。欢迎。欢迎。我也是小白。昨天才刚刚做出来第一个薄膜的ebsd，经验谈不上。多沟通哈。
然后我的联系方式短消息给你。
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有今生 有来生 有因果 有轮回
7楼2016-05-30 07:33:50
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325114100

新虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 顽皮猫 at 2016-08-15 10:30:12
你好，你的样品制备条件是什么？

我在si片上用磁控溅射做了190nm厚的钨，没有加热，在SEM 下拍不到清楚的图片。你知道这是什么原因引起的吗？

做SEM要喷金，有足够导电性，同时SEM要放大的10万倍高倍下观察才能看清楚
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9楼2016-10-31 19:49:44
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325114100

新虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 顽皮猫 at 2016-08-15 10:30:12
你好，你的样品制备条件是什么？

我在si片上用磁控溅射做了190nm厚的钨，没有加热，在SEM 下拍不到清楚的图片。你知道这是什么原因引起的吗？

做SEM要喷金，有足够导电性，同时SEM要放大的10万倍高倍下观察才能看清楚
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10楼2016-10-31 19:50:04
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