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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射金属钨薄膜出现α-W与β-W两种相结构
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325114100

新虫 (小有名气)
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8楼: Originally posted by 顽皮猫 at 2016-08-15 10:30:12
你好，你的样品制备条件是什么？

我在si片上用磁控溅射做了190nm厚的钨，没有加热，在SEM 下拍不到清楚的图片。你知道这是什么原因引起的吗？

做SEM要喷金，有足够导电性，同时SEM要放大的10万倍高倍下观察才能看清楚
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11楼2016-10-31 19:50:16
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