应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 刻蚀过程中如何实现断面的坡度角
51/1返回列表
查看: 1217  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

lwb870525

木虫 (著名写手)

[求助] 刻蚀过程中如何实现断面的坡度角

如题，玻璃基板上磁控溅射镀的金属膜，厚度300nm，湿法刻蚀，刻蚀完毕后要形成一个梯形的样子。

如何控制刻蚀参数来实现梯形的坡度角？   请大神不吝赐教
回复此楼

» 猜你喜欢
人一旦过于认真，结果往往注定是悲剧；玩世不恭，有时候或许是喜剧，最多也就是部闹剧。喜剧皆大欢喜，闹剧一笑而过，悲剧却是一生的痛，赢得了社会，却输了自己
1楼 2016-03-11 14:27:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lwb870525

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by dorrnm at 2016-03-11 20:28:15
湿法刻蚀是各向同性的，相同的时间内往各个方向刻蚀速率相同，所以最后必然是45度角的梯形，有办法能控制角度？

谢谢您的回答。湿法刻蚀金属膜，金属膜水平方向与垂直方向被刻蚀的速率是不一样的吧，最后得到的梯形坡度角，只能是45°吗？
赞一下 回复此楼
人一旦过于认真，结果往往注定是悲剧；玩世不恭，有时候或许是喜剧，最多也就是部闹剧。喜剧皆大欢喜，闹剧一笑而过，悲剧却是一生的痛，赢得了社会，却输了自己
3楼2016-03-12 16:28:55
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

dorrnm

金虫 (小有名气)
湿法刻蚀是各向同性的，相同的时间内往各个方向刻蚀速率相同，所以最后必然是45度角的梯形，有办法能控制角度？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
2楼2016-03-11 20:28:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dorrnm

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by lwb870525 at 2016-03-12 16:28:55
谢谢您的回答。湿法刻蚀金属膜，金属膜水平方向与垂直方向被刻蚀的速率是不一样的吧，最后得到的梯形坡度角，只能是45°吗？...

是不是各向同性应该看各个方向的反应能吧，晶体晶向不一样还会有区别，金属不知道为什么会有

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

lwb870525
4楼2016-03-12 17:05:43
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lwb870525

木虫 (著名写手)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by dorrnm at 2016-03-12 17:05:43
是不是各向同性应该看各个方向的反应能吧，晶体晶向不一样还会有区别，金属不知道为什么会有
...

这个我再查下资料看看。非常感谢你的帮助！
赞一下 回复此楼
人一旦过于认真，结果往往注定是悲剧；玩世不恭，有时候或许是喜剧，最多也就是部闹剧。喜剧皆大欢喜，闹剧一笑而过，悲剧却是一生的痛，赢得了社会，却输了自己
5楼2016-03-12 18:08:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +8 majunge000 2026-08-10 9/450 2026-08-12 22:17 by 虫友是什么虫
[基金申请] 2019年青年基金涵评意见，大家看看几个A，几个B? +10 Tide man 2026-08-11 10/500 2026-08-12 20:59 by 陈晨晨陈啊
[基金申请] 好奇怪的filecode +5 布布和一二 2026-08-08 6/300 2026-08-12 16:11 by 云上清扬
[基金申请] filecode +13 documentary 2026-08-10 15/750 2026-08-12 15:56 by 云上清扬
[论文投稿] 职称评审，求友友推荐见刊最快的期刊 +4 工厂打螺丝 2026-08-08 4/200 2026-08-12 09:18 by hansi2025
[基金申请] 小木虫上这么多卖论文的，真有人买论文么？感觉没必要啊 +8 Tide man 2026-08-10 9/450 2026-08-11 20:39 by beefly
[硕博家园] 读博的好处 +3 lnee 2026-08-11 3/150 2026-08-11 18:10 by 希望我好好的
[基金申请] 听说今天filecode变了 +26 布布和一二 2026-08-06 49/2450 2026-08-11 13:18 by WH3796
[基金申请] 基金中了 +15 laoda193707 2026-08-06 15/750 2026-08-11 00:11 by jiafei2190
[基金申请] 确定了，国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
[基金申请] 关于代码变化问题，想知道的进来 +17 且听虎啸 2026-08-07 24/1200 2026-08-10 18:35 by zhangduo2008
[基金申请] 据悉今年马上要出结果了 +7 瞬息宇宙 2026-08-10 8/400 2026-08-10 12:42 by Vivilian
[基金申请] 面上项目filecode邪修 +5 西山十月 2026-08-09 7/350 2026-08-10 07:32 by 仁砚薪传
[基金申请] fileCode有新解读？ +10 Tide man 2026-08-08 18/900 2026-08-09 12:55 by 仁砚薪传
[基金申请] 关于filecode，很负责任的告诉大家 +6 爱看书的可乐 2026-08-08 7/350 2026-08-08 22:13 by a_niu
[基金申请] 国基金的申报应该改成非等额制，评价高的钱多评价低的钱少，但是增加资助率 +7 a089 2026-08-07 7/350 2026-08-08 18:05 by gltch
[基金申请] 关于filecode +4 布布和一二 2026-08-07 7/350 2026-08-07 22:55 by zhanghaozhu
[基金申请] 化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变，有变的大神么？ +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
[基金申请] filecode变化情况 +6 布布和一二 2026-08-07 22/1100 2026-08-07 14:45 by 且听虎啸
[基金申请] 大家散了吧，后缀研究没有意义，别浪费时间了，过好目前的每一天，不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 7/350 2026-08-07 13:11 by 医学老男孩
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭