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lwb870525木虫 (著名写手)
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刻蚀过程中如何实现断面的坡度角
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如题，玻璃基板上磁控溅射镀的金属膜，厚度300nm，湿法刻蚀，刻蚀完毕后要形成一个梯形的样子。 如何控制刻蚀参数来实现梯形的坡度角？ 请大神不吝赐教 |
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