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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 刻蚀过程中如何实现断面的坡度角
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lwb870525

木虫 (著名写手)

[求助] 刻蚀过程中如何实现断面的坡度角

如题，玻璃基板上磁控溅射镀的金属膜，厚度300nm，湿法刻蚀，刻蚀完毕后要形成一个梯形的样子。

如何控制刻蚀参数来实现梯形的坡度角？   请大神不吝赐教
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1楼 2016-03-11 14:27:18
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dorrnm

金虫 (小有名气)
湿法刻蚀是各向同性的，相同的时间内往各个方向刻蚀速率相同，所以最后必然是45度角的梯形，有办法能控制角度？

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2楼2016-03-11 20:28:15
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lwb870525

木虫 (著名写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by dorrnm at 2016-03-11 20:28:15
湿法刻蚀是各向同性的，相同的时间内往各个方向刻蚀速率相同，所以最后必然是45度角的梯形，有办法能控制角度？

谢谢您的回答。湿法刻蚀金属膜，金属膜水平方向与垂直方向被刻蚀的速率是不一样的吧，最后得到的梯形坡度角，只能是45°吗？
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3楼2016-03-12 16:28:55
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dorrnm

金虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by lwb870525 at 2016-03-12 16:28:55
谢谢您的回答。湿法刻蚀金属膜，金属膜水平方向与垂直方向被刻蚀的速率是不一样的吧，最后得到的梯形坡度角，只能是45°吗？...

是不是各向同性应该看各个方向的反应能吧，晶体晶向不一样还会有区别，金属不知道为什么会有

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lwb870525
4楼2016-03-12 17:05:43
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lwb870525

木虫 (著名写手)
送红花一朵
引用回帖:
4楼: Originally posted by dorrnm at 2016-03-12 17:05:43
是不是各向同性应该看各个方向的反应能吧，晶体晶向不一样还会有区别，金属不知道为什么会有
...

这个我再查下资料看看。非常感谢你的帮助！
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人一旦过于认真，结果往往注定是悲剧；玩世不恭，有时候或许是喜剧，最多也就是部闹剧。喜剧皆大欢喜，闹剧一笑而过，悲剧却是一生的痛，赢得了社会，却输了自己
5楼2016-03-12 18:08:45
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