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[资源] 【专家一席谈】电镜随谈之三:能谱(EDS)的一些问题

关于能谱的一些问题

无论扫描电镜还是透射电镜,现在购置的时候能谱几乎成了标配,因为价格相对电镜来说只有五分之一甚至六分之一,而且分析速度快,可以在线分析微区内样品组分,给出半定量或者定量结果,如果透射电镜有扫描附件,也和扫描电镜一样能给出漂亮的元素分布map,这对于实验结果来说,是一个很有益而且很直观的支持。

但由于能谱毕竟是从1951年法国牛人R. Castaing开始提出原理,1957年才用了相关原理制造了EMMA(Electron Microscopic Microanalyzer)上市,而开始使用EDS更晚,到了1968年才有开始使用锂漂移硅探头的EDS系统附加在电镜上,至今也不过40年时间。所以有不少仪器分析的课本里面较少涉及相关内容,这也就给初次接触这种分析测试设备的人带来了不少疑问。相关基础知识可以通过看相关书籍,比如我推荐过的电子显微分析,第八章就有。我这里就自己见到的一些常见的小问题说一下自己的看法:

1. 能谱的缩写是EDS还是EDX?
开始的时候能谱的缩写有很多,比如EDS,EDX,EDAX等,大家对此也都心照不宣,知道ED就是Energy Dispersive,后面因为X-ray Analysis和Spectrum这几个词的不同用法,导致了缩写的不同。而且相应的汉译也有很多,比如能量色散谱,能量散射谱等等。大概是2004年左右,相关协会规定,EDS就是能谱或者能谱仪,EDX呢,就是能谱学,Dispersive就不去翻译。
这样EDS就应该是文章里的正规用法,而现在有很多文章仍然使用其他说法,有约定俗成的味道,大家知道怎么回事就行了。

[ Last edited by zhangwj on 2011-9-24 at 16:25 ]
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nanojessie

铜虫 (小有名气)


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我想问一下,SEM中的能谱,能达到的精度是多少?不是误差分析的精度,而是样品里的元素含量达到多少才能被检测到?我做了Al 的薄膜,经过氧化实验,可是在能谱里显示不出O的峰,是怎么回事呢?
201楼2013-05-24 17:28:11
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