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dubaosheng

金虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射 已有3人参与

有懂磁控溅射的高手吗,辉光正常为什么si基底长不上膜?

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呵呵
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dubaosheng

金虫 (正式写手)

引用回帖:
16楼: Originally posted by 大水杯 at 2016-03-08 08:10:56
是反应溅射的话,靶材表面是不是出现中毒,生成了反应物;溅射功率会不会太高,使粒子轰击能量过高,把衬底表面生成的薄膜轰击下来。

功率太低不起辉光了

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呵呵
18楼2016-03-08 08:31:31
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gcgwj2003

至尊木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
发个辉光照片,DC, RF?功率,气压?

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2楼2016-03-06 21:34:16
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Friend007

银虫 (知名作家)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
估计楼主用的是射频电源,容易产生辉光,但是能量太低,未形成溅射。

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3楼2016-03-06 21:40:40
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dubaosheng

金虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by Friend007 at 2016-03-06 21:40:40
估计楼主用的是射频电源,容易产生辉光,但是能量太低,未形成溅射。

是射频的,什么能量太低,功率最大了,辉光也很强

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呵呵
4楼2016-03-06 21:48:39
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