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dubaosheng

金虫 (正式写手)

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[求助] 磁控溅射已有3人参与

有懂磁控溅射的高手吗，辉光正常为什么si基底长不上膜？

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呵呵

1楼 2016-03-06 21:05:33

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

weq_ever

木虫 (小有名气)

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专业: 无机非金属基复合材料

引用回帖:

11楼: Originally posted by dubaosheng at 2016-03-07 12:09:53
如何判断表面形成绝缘层了，气压太小就没辉光了，靶间距也调试过，负偏压怎么加的？谢了
...

看电源的电流值（最好有之前正常镀膜的参数做对比），电流较小或功率加不到设定的值，就是没有溅射出来。负偏压是加在基片上的，是从基片架引出的一端接入直流电源，可能你的设备没有这个功能。
另外看其他人评论回复，你用的是射频电源。射频电源溅射产额很低的，射频电源大多用来增强辉光放电，一般要辅助其他电源溅射靶材。