| 查看: 15495 | 回复: 66 | |||||
| 【奖励】 本帖被评价57次，作者leisure112增加金币 45.2 个 | |||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||||
[资源]
CMP 化学机械抛光
|
|||||
|
非常详细的化学机械抛光。最新著作 Contents List of contributors xi Woodhead Publishing Series in Electronic and Optical Materials xiii Introduction xix Part One CMP of dielectric and metal films 1 1 Chemical and physical mechanisms of dielectric chemical mechanical polishing (CMP) 3 Y. Moon 1.1 Introduction 3 1.2 History of dielectric CMP 3 1.3 Material removal mechanism of dielectric CMP 4 1.4 Defectivity of dielectric CMP 11 1.5 Major applications of dielectric CMP 16 1.6 Future of dielectric CMP 24 References 25 2 Copper chemical mechanical planarization (Cu CMP) challenges in 22 nm back-end-of-line (BEOL) and beyond 27 M. Krishnan, M.F. Lofaro 2.1 Introduction 27 2.2 Factors that affect Cu CMP at the 22 nm node and beyond 28 2.3 Conclusions 42 Acknowledgments 42 References 43 3 Electrochemical techniques and their applications for chemical mechanical planarization (CMP) of metal films 47 D. Roy 3.1 Introduction 47 3.2 Chemical component of metal CMP 48 3.3 Electrochemical basis of metal CMP 51 3.4 Experimental considerations 59 3.5 Illustrative applications 64 3.6 Conclusions 82 Acknowledgments 83  01.png  002.png |
回复此楼» 本帖附件资源列表
-
欢迎监督和反馈：小木虫仅提供交流平台，不对该内容负责。
本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：xiaomuchong@tal.com - 附件 1 : Advances_in_Chemical_Mechanical_Planarization_(CMP).pdf
2016-03-06 20:10:25, 22.12 M
» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 实验室+仪器测量+误差分析+相关技术 | Allen的英文原版+百科 | Allen的化学 |
» 猜你喜欢
广州双一流大学08代码学硕接受调剂
已经有7人回复
-
求助：能与1,3-二氯-2-丙醇（一氯甘油；CAS号: 96-24-2）共沸的有机溶剂？
已经有3人回复
-
电气科学与工程论文润色/翻译怎么收费?
已经有240人回复
-
河南科技大学动力工程及工程热物理学硕招收调剂生（急需）
已经有1人回复
-
手搓工业软件之化工设备三维设计软件ZDPV免安装版测试包领取
已经有1人回复
-
北京科技大学能源与环境工程学院王庆功教授团队，招收全日制博士生1-2名，5月21日前
已经有26人回复
-
上海交通大学智慧能源创新学院曾美容课题组招聘博士后
已经有1人回复
-
求助下载PRL已发表文章
已经有2人回复
-
专为科研与技术文档打造的 PDF 阅读器
已经有1人回复
-
求助硅钨酸cif文件
已经有0人回复
27楼2016-03-21 14:13:11
2楼2016-03-07 09:39:42
简单回复
2016-03-07 10:30
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
lwg34楼
2016-03-07 12:39
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
2016-03-08 14:55
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
mechtest6楼
2016-03-09 12:49
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
2016-03-10 08:54
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
zhke5238楼
2016-03-10 13:37
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
2016-03-11 10:20
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
yf.li10楼
2016-03-11 11:06
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
marchfeng11楼
2016-03-11 14:01
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
happyfishs12楼
2016-03-11 14:11
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
fuhuidong13楼
2016-03-11 21:06
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
fuhuidong14楼
2016-03-11 21:31
回复
顶一下，感谢分享！
