| 查看: 8669 | 回复: 66 | |||||
| 【奖励】 本帖被评价57次，作者leisure112增加金币 45.2 个 | |||||
[资源]
CMP 化学机械抛光
|
|||||
|
非常详细的化学机械抛光。最新著作 Contents List of contributors xi Woodhead Publishing Series in Electronic and Optical Materials xiii Introduction xix Part One CMP of dielectric and metal films 1 1 Chemical and physical mechanisms of dielectric chemical mechanical polishing (CMP) 3 Y. Moon 1.1 Introduction 3 1.2 History of dielectric CMP 3 1.3 Material removal mechanism of dielectric CMP 4 1.4 Defectivity of dielectric CMP 11 1.5 Major applications of dielectric CMP 16 1.6 Future of dielectric CMP 24 References 25 2 Copper chemical mechanical planarization (Cu CMP) challenges in 22 nm back-end-of-line (BEOL) and beyond 27 M. Krishnan, M.F. Lofaro 2.1 Introduction 27 2.2 Factors that affect Cu CMP at the 22 nm node and beyond 28 2.3 Conclusions 42 Acknowledgments 42 References 43 3 Electrochemical techniques and their applications for chemical mechanical planarization (CMP) of metal films 47 D. Roy 3.1 Introduction 47 3.2 Chemical component of metal CMP 48 3.3 Electrochemical basis of metal CMP 51 3.4 Experimental considerations 59 3.5 Illustrative applications 64 3.6 Conclusions 82 Acknowledgments 83  01.png  002.png |
回复此楼» 本帖附件资源列表
-
欢迎监督和反馈：小木虫仅提供交流平台，不对该内容负责。
本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：xiaomuchong@tal.com - 附件 1 : Advances_in_Chemical_Mechanical_Planarization_(CMP).pdf
2016-03-06 20:10:25, 22.12 M
» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 实验室+仪器测量+误差分析+相关技术 | Allen的英文原版+百科 | Allen的化学 |
» 猜你喜欢
北京石油化工学院康举老师团招2026年研究生复试调剂考生，欢迎联系，
已经有0人回复
-
智能制造和机器人国家科技重大专项研究团队招收调剂研究生10人
已经有4人回复
-
工程热物理与能源利用论文润色/翻译怎么收费?
已经有227人回复
-
INDUSTRIAL LUBRICATION AND TRIBOLOGY期刊大修
已经有2人回复
-
青岛大学纺织服装学院-极端环境纺织材料与制品团队-招2026年考研调剂
已经有0人回复
-
大连理工大学机械工程学院招收2026年硕士研究生
已经有0人回复
-
求调剂建议
已经有0人回复
-
大连理工大学机械工程学院长江学者课题组招收2026年博士研究生
已经有0人回复
-
国产沪模心肺复苏：从厂家到品牌，深度剖析
已经有0人回复
-
085500机械 335求调剂
已经有0人回复
-
工科370求调剂
已经有3人回复
2楼2016-03-07 09:39:42
16楼2016-03-12 09:28:10
22楼2016-03-13 12:42:01
27楼2016-03-21 14:13:11
28楼2016-03-25 00:24:21
33楼2016-07-05 20:59:03
44楼2016-11-25 17:01:01
48楼2017-08-06 11:33:08
简单回复
2016-03-07 10:30
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
lwg34楼
2016-03-07 12:39
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
2016-03-08 14:55
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
mechtest6楼
2016-03-09 12:49
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
2016-03-10 08:54
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
zhke5238楼
2016-03-10 13:37
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
2016-03-11 10:20
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
yf.li10楼
2016-03-11 11:06
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
marchfeng11楼
2016-03-11 14:01
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
happyfishs12楼
2016-03-11 14:11
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
fuhuidong13楼
2016-03-11 21:06
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
fuhuidong14楼
2016-03-11 21:31
回复
顶一下，感谢分享！
wu_gang100015楼
2016-03-12 08:28
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
discrete17楼
2016-03-12 20:28
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
njrlfu18楼
2016-03-12 23:55
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
keda19楼
2016-03-13 08:42
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
markwu420楼
2016-03-13 12:04
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
junbaixie21楼
2016-03-13 12:33
回复
三星好评 顶一下，感谢分享！
suiyuan9923楼
2016-03-13 19:53
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
zjniu24楼
2016-03-15 08:39
回复
五星好评 谢谢分享
daisy_happy25楼
2016-03-15 18:10
回复
fengshenglk26楼
2016-03-17 14:02
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
想不出来556729楼
2016-04-13 14:38
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
ru062930楼
2016-06-16 17:30
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
njgreencard31楼
2016-06-26 03:13
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
asd3045689132楼
2016-07-05 16:52
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
一点红34楼
2016-07-22 09:46
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
想不出来556735楼
2016-09-22 10:21
回复
顶一下，感谢分享！
lbyj36楼
2016-09-26 20:47
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
zhoujun6537楼
2016-10-25 11:04
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
hezeren38楼
2016-10-31 22:12
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
qqqsone39楼
2016-11-07 14:11
回复
三星好评 顶一下，感谢分享！
ycl1225040楼
2016-11-10 13:39
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
炉边独语41楼
2016-11-22 15:39
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
180213442楼
2016-11-23 15:49
回复
五星好评 
鳜鱼煮面43楼
2016-11-23 17:19
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
lxw20245楼
2016-11-29 16:44
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
球跳跳跳闹46楼
2017-02-22 20:01
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
chuanjin200647楼
2017-05-09 17:12
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
shjwei52549楼
2017-09-02 23:38
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
l0504211350楼
2017-09-12 12:59
回复
顶一下，感谢分享！ 发自小木虫Android客户端
