| 查看: 15474 | 回复: 66 | |||||
| 【奖励】 本帖被评价57次，作者leisure112增加金币 45.2 个 | |||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||||
[资源]
CMP 化学机械抛光
|
|||||
|
非常详细的化学机械抛光。最新著作 Contents List of contributors xi Woodhead Publishing Series in Electronic and Optical Materials xiii Introduction xix Part One CMP of dielectric and metal films 1 1 Chemical and physical mechanisms of dielectric chemical mechanical polishing (CMP) 3 Y. Moon 1.1 Introduction 3 1.2 History of dielectric CMP 3 1.3 Material removal mechanism of dielectric CMP 4 1.4 Defectivity of dielectric CMP 11 1.5 Major applications of dielectric CMP 16 1.6 Future of dielectric CMP 24 References 25 2 Copper chemical mechanical planarization (Cu CMP) challenges in 22 nm back-end-of-line (BEOL) and beyond 27 M. Krishnan, M.F. Lofaro 2.1 Introduction 27 2.2 Factors that affect Cu CMP at the 22 nm node and beyond 28 2.3 Conclusions 42 Acknowledgments 42 References 43 3 Electrochemical techniques and their applications for chemical mechanical planarization (CMP) of metal films 47 D. Roy 3.1 Introduction 47 3.2 Chemical component of metal CMP 48 3.3 Electrochemical basis of metal CMP 51 3.4 Experimental considerations 59 3.5 Illustrative applications 64 3.6 Conclusions 82 Acknowledgments 83  01.png  002.png |
回复此楼» 本帖附件资源列表
-
欢迎监督和反馈：小木虫仅提供交流平台，不对该内容负责。
本内容由用户自主发布，如果其内容涉及到知识产权问题，其责任在于用户本人，如对版权有异议，请联系邮箱：xiaomuchong@tal.com - 附件 1 : Advances_in_Chemical_Mechanical_Planarization_(CMP).pdf
2016-03-06 20:10:25, 22.12 M
» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 实验室+仪器测量+误差分析+相关技术 | Allen的英文原版+百科 | Allen的化学 |
» 猜你喜欢
细胞培养关键物料采购攻略：人AB血清优质供应商筛选标准详解
已经有0人回复
-
华东大型恒温/翻转振荡器源头制造商丹瑞，支持多工位非标定制
已经有0人回复
-
机械工程论文润色/翻译怎么收费?
已经有213人回复
-
自用分享｜桌面深层文件夹分组映射工具 HyperDesk 免费体验版
已经有2人回复
-
光学领域 SCI3区期刊 征稿，录用率50%
已经有6人回复
-
气体检漏仪生产商哪家实力强，国产高性价比厂家山东梦斯科
已经有0人回复
-
深化交流谋合作|银川考察团莅临苏州恒驰西安研发中心考察指导
已经有0人回复
-
激光3D打印双极板|高端工业核心零部件增材制造方案
已经有0人回复
-
薄壁件激光熔覆修复加工技术方案及应用场景
已经有0人回复
16楼2016-03-12 09:28:10
2楼2016-03-07 09:39:42
简单回复
2016-03-07 10:30
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
lwg34楼
2016-03-07 12:39
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
2016-03-08 14:55
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
mechtest6楼
2016-03-09 12:49
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
2016-03-10 08:54
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
zhke5238楼
2016-03-10 13:37
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
2016-03-11 10:20
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
yf.li10楼
2016-03-11 11:06
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
marchfeng11楼
2016-03-11 14:01
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
happyfishs12楼
2016-03-11 14:11
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
fuhuidong13楼
2016-03-11 21:06
回复
五星好评 顶一下，感谢分享！
fuhuidong14楼
2016-03-11 21:31
回复
顶一下，感谢分享！
