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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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倦书徐行

银虫 (小有名气)

[交流] 求助各位镍铬合金靶材的溅射参数 已有1人参与

各位虫友,小弟要在氮化硅上溅射镍铬合金做电阻,靶材质量比是Ni:Cr=50:50。要溅射的厚度是100纳米。请问溅射机的参数应该如何设置?时间,功率,压强都该如何选择?
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Friend007

银虫 (知名作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
压强0.5Pa左右,功率和时间估计要自己摸了,最大功率和靶材面积有关。具体参数楼主可以找篇文章参考下。

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2楼2016-03-03 07:12:05
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倦书徐行

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2016-03-03 07:12:05
压强0.5Pa左右,功率和时间估计要自己摸了,最大功率和靶材面积有关。具体参数楼主可以找篇文章参考下。

这位虫友,能不能推荐几篇相关的文章呢?
3楼2016-03-04 10:49:46
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Friend007

银虫 (知名作家)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by 倦书徐行 at 2016-03-04 10:49:46
这位虫友,能不能推荐几篇相关的文章呢?...

呵呵 我这没有相关的文章

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4楼2016-03-04 19:26:48
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