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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求助各位镍铬合金靶材的溅射参数
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倦书徐行

银虫 (小有名气)

[交流] 求助各位镍铬合金靶材的溅射参数 已有1人参与

各位虫友，小弟要在氮化硅上溅射镍铬合金做电阻，靶材质量比是Ni：Cr=50:50。要溅射的厚度是100纳米。请问溅射机的参数应该如何设置？时间，功率，压强都该如何选择？
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1楼 2016-03-02 17:29:48
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Friend007

银虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
压强0.5Pa左右，功率和时间估计要自己摸了，最大功率和靶材面积有关。具体参数楼主可以找篇文章参考下。

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2楼2016-03-03 07:12:05
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倦书徐行

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2016-03-03 07:12:05
压强0.5Pa左右，功率和时间估计要自己摸了，最大功率和靶材面积有关。具体参数楼主可以找篇文章参考下。

这位虫友，能不能推荐几篇相关的文章呢？
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3楼2016-03-04 10:49:46
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Friend007

银虫 (知名作家)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by 倦书徐行 at 2016-03-04 10:49:46
这位虫友，能不能推荐几篇相关的文章呢？...

呵呵 我这没有相关的文章

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4楼2016-03-04 19:26:48
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