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求助各位镍铬合金靶材的溅射参数 已有1人参与
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| 各位虫友，小弟要在氮化硅上溅射镍铬合金做电阻，靶材质量比是Ni：Cr=50:50。要溅射的厚度是100纳米。请问溅射机的参数应该如何设置？时间，功率，压强都该如何选择？ |
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3楼2016-03-04 10:49:46