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zhao139391

银虫 (小有名气)

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专业: 半导体晶体与薄膜材料

[求助] 蒸发镀膜一般抽真空抽到多少可以镀膜上去

在线等，谢了，各位大神

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坚持了才会有希望

1楼 2016-02-29 14:06:24

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再见后定诺

木虫 (小有名气)

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专业: 半导体材料

10的-3起步，如果是电子束蒸发，最好10的-4起步。
有一个公式，粗略计算平均分子自由程的 0.667/腔体真空度，单位是cm
由此可知，腔体真空度越高，粒子的自由程是倍数增长。

4楼2019-11-27 21:23:17

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Friend007

银虫 (知名作家)

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专业: 机械工程

★ ★ ★ ★ ★
zhao139391(明亮的眼眸代发): 金币+5, 感谢回帖，欢迎常来工艺技术版！ 2016-03-13 22:27:45

一般要求本底真空度优于1×10-3pa

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2楼2016-02-29 20:11:42

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zhao139391

银虫 (小有名气)

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谢了

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坚持了才会有希望

3楼2016-03-03 19:36:05

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guxieqing

新虫 (小有名气)

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热蒸发一般10的-3帕，或者10的-5Torr，如果设备性能较好，最好能再提高一个等级！

5楼2022-04-14 09:29:59

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