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zhao139391

银虫 (小有名气)

[求助] 蒸发镀膜一般抽真空抽到多少可以镀膜上去

在线等,谢了,各位大神
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坚持了才会有希望
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Friend007

银虫 (知名作家)


★ ★ ★ ★ ★
zhao139391(明亮的眼眸代发): 金币+5, 感谢回帖,欢迎常来工艺技术版! 2016-03-13 22:27:45
一般要求本底真空度优于1×10-3pa

发自小木虫Android客户端
2楼2016-02-29 20:11:42
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zhao139391

银虫 (小有名气)

坚持了才会有希望
3楼2016-03-03 19:36:05
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再见后定诺

木虫 (小有名气)

10的-3起步,如果是电子束蒸发,最好10的-4起步。
有一个公式,粗略计算平均分子自由程的       0.667/腔体真空度,单位是cm
由此可知,腔体真空度越高,粒子的自由程是倍数增长。
4楼2019-11-27 21:23:17
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guxieqing

新虫 (小有名气)

热蒸发一般10的-3帕,或者10的-5Torr,如果设备性能较好,最好能再提高一个等级!
5楼2022-04-14 09:29:59
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