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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 蒸发镀膜一般抽真空抽到多少可以镀膜上去
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zhao139391

银虫 (小有名气)

[求助] 蒸发镀膜一般抽真空抽到多少可以镀膜上去

在线等，谢了，各位大神
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坚持了才会有希望
1楼 2016-02-29 14:06:24
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Friend007

银虫 (知名作家)
★ ★ ★ ★ ★
zhao139391(明亮的眼眸代发): 金币+5, 感谢回帖，欢迎常来工艺技术版！ 2016-03-13 22:27:45
一般要求本底真空度优于1×10-3pa

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2楼2016-02-29 20:11:42
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zhao139391

银虫 (小有名气)
谢了

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坚持了才会有希望
3楼2016-03-03 19:36:05
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再见后定诺

木虫 (小有名气)
10的-3起步，如果是电子束蒸发，最好10的-4起步。
有一个公式，粗略计算平均分子自由程的       0.667/腔体真空度，单位是cm
由此可知，腔体真空度越高，粒子的自由程是倍数增长。
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4楼2019-11-27 21:23:17
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guxieqing

新虫 (小有名气)
热蒸发一般10的-3帕，或者10的-5Torr，如果设备性能较好，最好能再提高一个等级！
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5楼2022-04-14 09:29:59
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