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bestbigbear

银虫 (小有名气)

[交流] 石英玻璃片如何清洗洁净？

最近在使用石英玻璃片进行旋转涂膜的实验，由于涂膜的厚度很薄，因此石英表面的清洁度对涂膜的结果会有影响。
现在我使用H2SO4：H2O2对石英玻璃片清洗，再以蒸馏水润洗石英片后烘干，这样得到的片目测是很干净了，但是AFM测试后表面并不干净，会有一些灰尘杂质的存在。

求问各位高人，石英片如何清洗比较干净？有没有专门的清洗机或清洗剂？
洗完的石英片如何保存？是否是需要专门的片架？

顺问有没有哪位大侠了解薄膜测厚仪的设备？求指教，求指点~~
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1楼 2012-06-06 16:49:16
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poss

至尊木虫 (职业作家)
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
你的洗涤方式对，但是后处理不对

从酸中取出后应该用蒸馏水荡洗

然后用氮气（最好是高纯氮或氩气），气流吹扫

吹扫后直接旋涂

玻璃或硅片表面出后非常洁净，同时极易吸附灰尘

除非你在无尘环境中加热，否则超过十秒肯定吸附沾污
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37楼2012-06-06 21:14:06
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斛兵之恋

铜虫 (小有名气)
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
半导体、LCD工厂的做法都是弱碱液洗净然后air knife吹干  
不过全程无尘普通实验室基本做不到，而且这些设备也没有小型化。
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42楼2012-06-07 09:25:17
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bai123

荣誉版主 (文坛精英)
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
我觉得可以用酒精清洗 后面用吹风机吹干 不要再空气中停留时间太长
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3楼2012-06-06 16:53:57
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vmuch520

至尊木虫 (文坛精英)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
煮完，用大量纯水冲洗，最后一定要用高压氮气（装个尖嘴，这是做薄膜必备的，其他烘干晾干都不是好办法）流吹干。。。
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55楼2012-06-08 19:17:06
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普通回帖

bai123

荣誉版主 (文坛精英)
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
是不是烘干的时候落的灰啊
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2楼2012-06-06 16:52:51
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neu234

木虫之王 (文学泰斗)
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
用酒精就行
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4楼2012-06-06 17:25:44
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neu234

木虫之王 (文学泰斗)
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
用酸烘干后会有残留物
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5楼2012-06-06 17:26:19
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假大空

木虫之王 (文学泰斗)
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
酒精
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7楼2012-06-06 17:36:26
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clarktao

木虫之王 (文学泰斗)
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
酒精清洗
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9楼2012-06-06 17:49:50
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yuanyeguhong

至尊木虫 (文坛精英)
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
闲来逛逛……
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14楼2012-06-06 18:41:21
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奋力拼搏

至尊木虫 (文坛精英)
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
酒精
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16楼2012-06-06 18:49:16
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kingoywm

木虫 (正式写手)
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
能不能用稀盐酸洗洗，然后超声清洗下；然后用乙醇洗洗，然后在超声清洗；用乙醇洗吹干。
这样应该可以了吧？
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17楼2012-06-06 19:08:26
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userhung

禁虫 (文学泰斗)
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
酒精就可以的哦~~~~~~~~~~~~~~
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28楼2012-06-06 19:55:32
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userhung

禁虫 (文学泰斗)
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
丙酮也可以试一试，祝福好运~~~~~~~~~~~
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29楼2012-06-06 19:56:17
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zhengchengzzz

木虫 (正式写手)
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
汽油
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30楼2012-06-06 20:03:12
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小天龍

木虫 (著名写手)
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
稀硝酸
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31楼2012-06-06 20:09:47
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小天龍

木虫 (著名写手)
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
稀硝酸泡30min,再用酒精超洗30min
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32楼2012-06-06 20:11:44
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fuhanmei

禁虫 (知名作家)
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
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35楼2012-06-06 20:42:50
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fuhanmei

禁虫 (知名作家)
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽
36楼2012-06-06 20:42:58
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syhorchid

木虫之王 (文学泰斗)
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
酒精清洗即可。
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39楼2012-06-06 21:19:37
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ycfxyh

木虫 (小有名气)
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
首先用纯水先冲刷表面，再置入酸洗槽内浸泡一些时间，掏出后再用纯水冲刷后晾干。
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40楼2012-06-06 21:47:40
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wait12121

金虫 (小有名气)
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
直接用硅片~
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41楼2012-06-07 08:50:44
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zhangr318

禁虫 (著名写手)
★
bestbigbear(金币+2): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽
46楼2012-06-07 13:27:59
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zzuzhf

至尊木虫 (著名写手)
★
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用乙醇的洗瓶吹洗，用电吹风迅速吹干
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49楼2012-06-07 18:36:24
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worryd

铜虫 (小有名气)
★
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测厚仪可以用手持式薄膜测厚仪，比较方便，价格便宜，我才买了一个750，还不错。你网上查下很多的。
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50楼2012-06-07 20:10:41
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假大空6楼
2012-06-06 17:35   回复  
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zhang73118楼
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clarktao10楼
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幸福XXX11楼
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ruonan00720楼
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and_you26楼
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