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信息科学
我国半导体光刻设备发展现状与国际差距分析
但该报告认为，这很可能依赖于较为早期的深紫外（DUV）光刻技术，而相关设备并非国产，因为国内尚未掌握该类设备的自主制造能力，更遑论更先进的极紫外（
EUV
）光刻技术。当前，最新一代的...
yexuqing
2025-09-03 07:49
文献求助
Advances in Patterning Materials and Processes XLII.SPIE文献...
BernhardLüttgenau,CalebArata,HongguIm,MaximillianMueller,DahyunOh,OlegKostko,LauraMcHale,ChrisRella,JohnHoffnagle,...358....
595227049
2025-05-14 05:17
微米和纳米
PSL小球在晶圆检测过程中使用问题及解决方法
6.设备兼容性问题某些检测设备（如
EUV
光刻机）对PSL材料敏感，导致信号失真。解决方法：?替代材料选择：使用二氧化硅（SiO?）微球（折射率1.46）或金纳米颗粒进行补充校准。?参数补偿...
EPRUIbiotech
2025-03-27 09:38
物理
微纳光学器件的设计与分析｜主题五
微纳光学器件的设计与分析｜主题五课程概要...一维线栅的建模与场分布获取2.
EUV
掩模的建模与分析3.薄膜太阳能电池的建模以及光电转换效率的计算4.垂直腔面发射激光器的建模与分析Q&A笞疑
Heidi1Hua
2025-03-27 03:03
物理
JCMsuite 案例解析
光掩模2.1衰减相移掩模2.1.1降基法2.2独立的接触孔2.3
EUV
掩模2.4光学成像3.散射测量3.1硅通孔技术4.椭偏仪4.1块状材料5.光伏发电5.1薄膜太阳能电池5.1.1薄膜太阳能电池一维模型6.表面等离子...
Heidi1Hua
2025-03-24 01:28
文献求助
求助SPIE文献一篇
VictorSoltwisch,TillBiskup,MichaelKolbe,FrankScholzeOpportunitiesofpolarization-resolvedEUVscatterometryonphotomasksProceedingsVolume12802,38...doi.org/10.1117/12.2675921...
焊工
2025-02-23 04:43
物理
JCMsuite 案例分析
光掩模2.1衰减相移掩模2.1.1降基法2.2独立的接触孔2.3
EUV
掩模2.4光学成像3.散射测量3.1硅通孔技术4.椭偏仪4.1块状材料5.光伏发电5.1薄膜太阳能电池5.1.1薄膜太阳能电池一维模型6.表面等离子...
Heidi1Hua
2025-02-12 05:52
文献求助
求助SPIE文献一篇
HaoyuWang,ShanGao,YujiaoLi,LyudmilaA.Gubanova,ElenaA.TsyganokSimulationandanalysisofmultilayerfilmforEUVlithographySPIE/COSPhotonicsAsia2024ProceedingsVolume13237,...132371G(2024)...
焊工
2025-02-02 06:17
文献求助
求助SPIE文献一篇
ExtremeUltraviolet(
EUV
)LithographyX2019ProceedingsVolume10957,ExtremeUltraviolet(
EUV
)LithographyX;1095714(2019)...
焊工
2025-01-11 10:51
文献求助
Accurate mapping of dose variations on
EUV
scanners using ...
VineetVijayakrishnanNair,LieveVanLook,RemkoAubert,EricHendrickxAccuratemappingofdosevariationsonEUVscannersusingdose-to-clearexposuresandopticalellipsometryProceedingsVolume...
lihao1223
2024-12-28 09:01
文献求助
Characterization and control of
EUV
scanner dose uniformity ...
ChrisRobinson,DanCorliss,LucianaMeli,RickJohnsonCharacterizationandcontrolofEUVscannerdoseuniformityandstabilitySPIEAdvancedLithography,2018,SanJose,California,UnitedStates...
lihao1223
2024-12-28 08:41
导师招生
新加坡南洋理工大学，Liang Jie Wong自由电子纳米光子学课题组...
forX-rayandEUVapplicationsincludingsemiconductorfailureanalysis,
EUV
/X-raylithography,medicalimagingandsecurityscanning.博士招生：【工作任务】Researchanddevelopment●...
ljwongntu
2024-12-15 07:20
专利求助
一种用于
EUV
光刻系统的复眼反射镜
4
小恋宇
2024-12-04 04:10
文献求助
Modeling edge placement error performance of
EUV
and DSA ...
ChrisA.Mack,GurpreetSingh,FlorianGstreinModelingedgeplacementerrorperformanceofEUVandDSAmultipatterningprocessesSPIE2024129530...
小木虫小木
2024-09-12 01:17
招聘信息布告栏
深圳综合粒子设施研究院2024-2025年招聘公告
深圳市光明区新湖街道圳园路268号A3栋博士后岗位需求一览表序号总体/专业组专业要求研究方向招收人数1加速器总体常温微波系统组物理粒子加速器物理或微波工程相关方向12加速器总体超导腔...
dhwfg群
2024-09-02 09:15
招聘信息布告栏
深圳综合粒子设施研究院2024招聘公告
深圳市光明区新湖街道圳园路268号A3栋博士后岗位需求一览表序号总体/专业组专业要求研究方向招收人数1加速器总体常温微波系统组物理粒子加速器物理或微波工程相关方向12加速器总体超导腔...
田rtwey
2024-08-27 12:51
招聘信息布告栏
深圳综合粒子设施研究院2024-2025年招聘公告
深圳市光明区新湖街道圳园路268号A3栋博士后岗位需求一览表序号总体/专业组专业要求研究方向招收人数1加速器总体常温微波系统组物理粒子加速器物理或微波工程相关方向12加速器总体超导腔...
guxusi16
2024-08-24 01:11
招聘信息布告栏
深圳综合粒子设施研究院2024届校园招聘公告
深圳市光明区新湖街道圳园路268号A3栋博士后岗位需求一览表序号总体/专业组专业要求研究方向招收人数1加速器总体常温微波系统组物理粒子加速器物理或微波工程相关方向12加速器总体超导腔...
田rtwey
2024-08-21 01:40
招聘信息布告栏
深圳综合粒子设施研究院2024-2025校园招聘公告
深圳市光明区新湖街道圳园路268号A3栋博士后岗位需求一览表序号总体/专业组专业要求研究方向招收人数1加速器总体常温微波系统组物理粒子加速器物理或微波工程相关方向12加速器总体超导腔...
tyerwer
2024-08-18 04:21
招聘信息布告栏
深圳综合粒子设施研究院2024-2025年招聘公告
深圳市光明区新湖街道圳园路268号A3栋博士后岗位需求一览表序号总体/专业组专业要求研究方向招收人数1加速器总体常温微波系统组物理粒子加速器物理或微波工程相关方向12加速器总体超导腔...
guxusi16
2024-08-16 02:06
招聘信息布告栏
深圳综合粒子设施研究院2024-2025年校年园招聘公告
深圳市光明区新湖街道圳园路268号A3栋博士后岗位需求一览表序号总体/专业组专业要求研究方向招收人数1加速器总体常温微波系统组物理粒子加速器物理或微波工程相关方向12加速器总体超导腔...
tkjhh好
2024-08-14 12:57
招聘信息布告栏
深圳综合粒子设施研究院2024-2025校园招聘公告
深圳市光明区新湖街道圳园路268号A3栋博士后岗位需求一览表序号总体/专业组专业要求研究方向招收人数1加速器总体常温微波系统组物理粒子加速器物理或微波工程相关方向12加速器总体超导腔...
yygdg可
2024-08-09 01:16
招聘信息布告栏
深圳综合粒子设施研究院2024-2025年招聘公告
深圳市光明区新湖街道圳园路268号A3栋博士后岗位需求一览表序号总体/专业组专业要求研究方向招收人数1加速器总体常温微波系统组物理粒子加速器物理或微波工程相关方向12加速器总体超导腔...
quwyrcb
2024-08-07 01:11
博后之家
深圳综合粒子设施研究院2024-2025招聘公告
深圳市光明区新湖街道圳园路268号A3栋博士后岗位需求一览表序号总体/专业组专业要求研究方向招收人数1加速器总体常温微波系统组物理粒子加速器物理或微波工程相关方向12加速器总体超导腔...
yiuyu45
2024-08-05 10:04
招聘信息布告栏
深圳综合粒子设施研究院2024-2025年招聘公告
深圳市光明区新湖街道圳园路268号A3栋博士后岗位需求一览表序号总体/专业组专业要求研究方向招收人数1加速器总体常温微波系统组物理粒子加速器物理或微波工程相关方向12加速器总体超导腔...
yiuyu45
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